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捷歐路JEOL JSM-7500F 冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

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冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡,JSM-7500F,捷歐路JEOL...

詳細(xì)介紹

捷歐路JEOL JSM-7500F 冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡配備了冷場(chǎng)發(fā)射電子槍和半浸沒(méi)式（semi-in-lens）物鏡，配合Gentle Beam （GB模式即柔和光束）能夠達(dá)到的分辨率。通過(guò)與GB模式組合，即使是用幾百電子伏的入射電子束也能獲得很高的分辨率，是非常適合觀察樣品淺表面的裝置之一。此外，JSM-7500F還可以選配用于元素分析等的各種附件。捷歐路JEOL JSM-7500F 冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡的電子光學(xué)系統(tǒng)將場(chǎng)發(fā)射電子槍和半浸沒(méi)式（semi-in-lens）物鏡組合為一體，冷場(chǎng)發(fā)射電子槍在低加速電壓下也能夠?qū)㈦娮邮劢沟煤芗?xì)，與通用型掃描電鏡一樣，對(duì)大樣品也可以進(jìn)行高分辨率的觀察。

捷歐路JEOL JSM-7500F 冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡通過(guò)給樣品加以偏壓并照射電子束，利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式（柔和光束），以幾百電子伏的入射電子對(duì)樣品的淺表面進(jìn)行高分辨率觀察，這是迄今為止未能實(shí)現(xiàn)的。新型 r-過(guò)濾器有標(biāo)準(zhǔn)SB（二次電子檢測(cè)）模式、標(biāo)準(zhǔn)BE模式（背散射電子檢測(cè)）、Sb模式（二次電子為主）和Bs模式（背散射電子為主）四種模式。Sb模式能檢測(cè)混有任意比例背散射電子的二次電子，Bs模式能檢測(cè)混有任意比例二次電子的背散射電子，這些功能在簡(jiǎn)明易懂的菜單上都可一鍵操作完成。

電子槍	冷場(chǎng)發(fā)射
物鏡	semi-in-lens物鏡
分辨率	1.0 nm @ 15 kV、1.4 nm @ 1 kV
加速電壓	0.1～30kV
束流	1pA ～ 2nA
自動(dòng)光闌角控制透鏡	內(nèi)置
倍率	x 25 ～ x 1,000,000
檢測(cè)器	高位檢測(cè)器（SED）低位檢測(cè)器（LED）
能量過(guò)濾器	r-能量過(guò)濾器
Gentle Beam模式	內(nèi)置
樣品交換室	內(nèi)置（具有干燥氮?dú)鈱?dǎo)入功能）氣鎖式、可交換的樣品：φ100mm×40mmH
樣品臺(tái)	5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)、全對(duì)中測(cè)角樣品臺(tái)
樣品移動(dòng)范圍	X: 70 mm , Y: 50 mm，Z: 1.0～25 mm，傾斜:-5～70°, 旋轉(zhuǎn): 360°