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速度和靈活性兼?zhèn)涫俏^(qū) X 射線熒光光譜的發(fā)展方向

<15µm 超高強度X射線頭，兼具高靈敏度和高空間分辨率
高分辨相機和多種照明模式成像
雙檢測器！熒光X射線檢測器和透射X射線檢測器
輕元素檢測器使元素檢測范圍下延到C元素

XGT-9000是如何保證高性能下的速度和靈活性

激發(fā)系統(tǒng) XGT-9000 以其精心設(shè)計的激發(fā)系統(tǒng)保證性能和靈活性，X射線發(fā)生器具有高達(dá) 50 kV 和 1000 µA 的高輸出。此外可以通過我們多樣化的X射線頭提供多種尺寸（10μm - 1.2mm）的激發(fā)用初級 X 射線，其中就包括超高強度X射線頭（probe），以實現(xiàn)快速測量。
光學(xué)圖像抓取清晰的圖像對于微區(qū)XRF至關(guān)重要，XGT-9000 提供高分辨率相機，可以獲取整個樣品及其細(xì)節(jié)顯微鏡水平的圖像。同時，多種照明模式保證圖像的清晰度，即便是透明或有較強反射的樣品。
樣品倉 XGT-9000 樣品倉可容納各種樣品，包括微型碎片、印刷電路板、硬幣、薄片、粉末、液體、晶圓，并根據(jù)需求提供各種樣品架，此外最多可以選擇 4 種測量環(huán)境來提高靈敏度。
檢測器 XGT 9000提供透射和熒光X射線雙探測器，透射X射線檢測器使用戶能夠檢測樣品的內(nèi)部缺陷和異物，而熒光X射線檢測器（配置輕元素檢測器）檢測范圍可從C到Am。
軟件套件功能強大的XGT 9000 軟件，包括全面完整的基本測試功能，如單點測試、多點測試、線分析和Mapping測試等。除了基本測試功能外，還可以在軟件套件中添加高級模塊，以提供更豐富的用戶體驗。多層FPM模塊可以進行厚度測試，有無標(biāo)樣都可以進行 RoHS檢測模塊用于RoHS要求的有害元素篩查隊列模塊自動進行多區(qū)域自動測試顆粒搜尋模塊可以進行顆粒分析以及原位分析 LabSpec Link模塊，將數(shù)據(jù)導(dǎo)入到LabSpec 6以進行多變量分析

型號	XGT-9000	XGT-9000SL
基本信息
儀器	微區(qū)X射線熒光分析儀
樣品類型	固體、液體、顆粒
檢測元素	輕元素檢測器：C* – Am (常規(guī)檢測器：F – Am)
樣品倉尺寸	450(W) x 500(D) x 80(H)	1030(W) x 950(D) x 500(H)
樣品尺寸	300(W) x 250(D) x 80(H)	500(W) x 500(D) x 500(H)
樣品質(zhì)量	1 kg	10 kg
光學(xué)觀察	兩個帶物鏡的高分辨率相機
光學(xué)設(shè)計	垂直同軸 X 射線和光學(xué)觀察
樣品照明/觀察	頂部、底部和側(cè)向照明/明場和暗場
X-射線管
功率	50 W
電壓	50 kV
電流	1 mA
靶材	Rh
X射線光光學(xué)系統(tǒng)
X射線頭數(shù)量	最多配置四個
光譜優(yōu)化初級X-射線濾光片	5個位置
檢測器
熒光X-射線檢測器	硅漂移檢測器（SDD）
透射X射線檢測器	NaI(Tl)
掃描分析
掃描范圍	100 mm x 100 mm	350 mm x 350 mm
步進尺寸	2 mm	4 mm
Operating mode
樣品環(huán)境	全真空/局部真空/大氣環(huán)境/He吹掃（選配）	局部真空/大氣環(huán)境/He吹掃（選配）*He吹掃條件對于兩個檢測器都檢測到C和F是必要的。