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TMC主動(dòng)隔震臺(tái)

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深圳維爾克斯光電有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

TMC公司致力于隔震臺(tái)的研究和制造。文章主要介紹列TMC公司主動(dòng)隔震臺(tái)的參數(shù)、性能、產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)和技術(shù)描述等。

詳細(xì)介紹

≥2Hz，≥90%隔振效果！TMC隔振平臺(tái)，敏感儀器行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)解決方案

公司致力于高水準(zhǔn)TMC隔振臺(tái)系統(tǒng)的研發(fā)和制造，為高精密和高穩(wěn)定性的科研領(lǐng)域以及工業(yè)生產(chǎn)提供所需要的條件。TMC主動(dòng)隔振系統(tǒng)從簡(jiǎn)單的桌面式隔振顯微鏡底座到大尺寸的光學(xué)平臺(tái)系統(tǒng)均有深入研究。公司憑借具有數(shù)字控制器和壓電驅(qū)動(dòng)器的精密的主動(dòng)和慣性振動(dòng)消除系統(tǒng)行業(yè)。同時(shí)也讓TMC公司的主動(dòng)光學(xué)隔震系統(tǒng)成了諸如生命科學(xué)、半導(dǎo)體、光子學(xué)、電子顯微鏡和計(jì)量學(xué)等科研領(lǐng)域和工業(yè)生產(chǎn)等敏感儀器對(duì)應(yīng)嘈雜環(huán)境的標(biāo)準(zhǔn)解決方案，深受歡迎和認(rèn)可。TMC的產(chǎn)品使用為的垂直集成制造工廠設(shè)計(jì)和生產(chǎn)，并且承諾為客戶提供的服務(wù)。

TMC隔振臺(tái)的主要性能體現(xiàn)在于其減震的頻率范圍，以及有效減震百分比。TMC主動(dòng)隔振系統(tǒng)從0.6Hz開始具備減震效果，并且具有對(duì)2Hz以上的有效頻率范圍的震動(dòng)減震效可達(dá)90%的性能。TMC公司的主動(dòng)光學(xué)隔震系統(tǒng)主要采用壓電主動(dòng)震動(dòng)消除，對(duì)比傳統(tǒng)的空氣隔震，具有更優(yōu)異的性能。TMC隔震系統(tǒng)的出現(xiàn)，使得許多高精度和穩(wěn)定性要求的實(shí)驗(yàn)和儀器運(yùn)用成為可能，同時(shí)也促進(jìn)了主動(dòng)隔振臺(tái)行業(yè)的技術(shù)革新。TMC隔震臺(tái)的“剛性"式慣性消振支撐系統(tǒng)是任何振動(dòng)敏感型儀器的理想選擇，它使此類工具能夠在嘈雜的環(huán)境中以高標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。

TMC隔振臺(tái)的主要特點(diǎn)：

-始于0.6Hz的隔振

-2Hz開始的主動(dòng)減振效果可達(dá)90%的的隔振效果

-高靈敏度，低頻慣性速度傳感器

-沒有任何空氣隔振系統(tǒng)的局限性

-的串行設(shè)計(jì)和專有的高力壓電技術(shù)

TMC隔振臺(tái)的主要應(yīng)用：

-聚焦離子束隔振

-掃描電子顯微鏡隔振

-超精密儀器和機(jī)械設(shè)備隔振

-半導(dǎo)體工業(yè)隔振

-小型雙光束儀器隔振

-高大工具的建筑地面振動(dòng)隔離

-半導(dǎo)體工廠中的精密微光刻、計(jì)量和檢測(cè)設(shè)備的震動(dòng)隔離

TMC STACIS Ⅲ：

STACISIII是一種靈活的高級(jí)主動(dòng)隔振系統(tǒng)。STACIS采用的慣性振動(dòng)傳感器、的控制算法和的壓電致動(dòng)器，通過連續(xù)測(cè)量地面活動(dòng)，然后擴(kuò)展和收縮壓電致動(dòng)器來過濾地面運(yùn)動(dòng)，以實(shí)時(shí)消除振動(dòng)。STACIS III包括一個(gè)全新的改進(jìn)型數(shù)字控制器DC-2020。這款全新的高級(jí)控制系統(tǒng)在前后面板上采用了新的雙核處理器、以太網(wǎng)以及USB串行端口，為用戶提供了現(xiàn)代化且易于使用的圖形用戶界面（GUI）。STACIS在已擁有數(shù)百個(gè)成功的安裝案例，是理想的隔振系統(tǒng)，適用于對(duì)振動(dòng)為敏感的儀器。

STACIS Ⅲ性能規(guī)格
主動(dòng)自由度	6
主動(dòng)帶寬	0.6 Hz - 150 Hz
被動(dòng)固有頻率	18 Hz垂直和水平
有效的主動(dòng)共振頻率	0.5 Hz
1 Hz時(shí)的隔振	40% - 70%
≥2 Hz時(shí)的隔振	≥90%
10磅（4.5千克）步進(jìn)輸入后的穩(wěn)定時(shí)間（減少10:1）	0.3秒
內(nèi)部噪音	<0.1 nm RMSd>
每個(gè)隔振器的工作負(fù)載范圍	低承重能力：400 - 1100磅（182 - 500千克）
	中等承重能力：900 - 2100磅（410 - 955千克）
	高承重能力：1900 - 4500磅（864 - 2045千克）
剛度（1000磅 / 454千克質(zhì)量、中等承重能力隔振器）	40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)
從距離隔振器大4英寸（102毫米）處發(fā)射的磁場(chǎng)	<0.02 μG broadbａnd RMSd>

STACIS Quiet Island：

半導(dǎo)體制造工廠、納米技術(shù)中心、納米工廠和其他精密制造和研究中心通常將潔凈室與活動(dòng)假地面系統(tǒng)結(jié)合在一起，以滿足復(fù)雜的設(shè)施要求（管道、電纜、燃?xì)夤艿赖龋┖捅３謬?yán)格的清潔標(biāo)準(zhǔn)。這種地面不適用于對(duì)振動(dòng)敏感的生產(chǎn)、檢測(cè)和計(jì)量設(shè)備。活動(dòng)地面無法為這些工具提供必要的安靜振動(dòng)環(huán)境。TMC的Quiet Island用一個(gè)固定在下面底層地面上的“安靜島"替換一部分活動(dòng)地面區(qū)域，提供了一種創(chuàng)新的解決方案。Quiet Island包括一個(gè)兼容潔凈室的平臺(tái)頂部和一個(gè)應(yīng)用和現(xiàn)場(chǎng)特定的支撐結(jié)構(gòu)。

STACIS Quiet Island性能規(guī)格
平臺(tái)表面	不銹鋼表面頂部和側(cè)面；
平臺(tái)表面	環(huán)氧涂漆鋼底部
平臺(tái)結(jié)構(gòu)	專有的多層層壓鋼板
尺寸	量身定制
標(biāo)準(zhǔn)高度	15、18、20、24、30、36、48英寸
	38、46、51、61、76、91、122厘米
	還可提供定制高度
負(fù)載能力	量身定制
剛性立管和支架	獲認(rèn)證的焊接、全鋼結(jié)構(gòu)，
剛性立管和支架	與潔凈室兼容的粉末涂層表面
可選附件	限制支架、平臺(tái)頂部吊環(huán)螺栓，
可選附件	用于格子式底層地面的橋板
平臺(tái)頂部版本	切口、通孔、用于固定工具的螺紋孔

SEM-Base Ⅵ：

SEM-BaseⅥ 是下一代STACIS主動(dòng)壓電消振產(chǎn)品。SEM-Base VI被設(shè)計(jì)用于支撐所有商用掃描電子顯微鏡（SEM）以及許多聚焦離子束（FIB）和小型雙光束儀器。SEM-Base VI具有更好的隔振性能、更快、更強(qiáng)大的控制器和高級(jí)圖形用戶界面（GUI）。

SEM-Base Ⅵ性能規(guī)格
主動(dòng)自由度	6
主動(dòng)帶寬	0.6 Hz - 100 Hz
被動(dòng)固有頻率	標(biāo)稱值為12 Hz
有效的主動(dòng)共振頻率	0.5 Hz
1 Hz時(shí)的隔振	40% - 70%
2 Hz時(shí)的隔振	90%
≥3 Hz時(shí)的隔振	90 - 98%
內(nèi)部噪音	<0.1 nm RMSd>
工作負(fù)載范圍	標(biāo)準(zhǔn)承重能力：900 - 2,500磅（408 - 1134千克）
工作負(fù)載范圍	高承重能力：2,500 - 3,200磅（1134 - 1452千克）
4英寸（102毫米）距離平臺(tái)的磁場(chǎng)發(fā)射	<0.02 μG broadbａnd RMSd>

TOOL-Base:

TOOL-Base是一種的主動(dòng)壓電地面減振平臺(tái)，用于超精密儀器和機(jī)械設(shè)備。它適用于比典型的商業(yè)掃描電子顯微鏡（SEM）更大或更重的儀器，而且設(shè)備有高度限制。

TOOL-Base不局限于單一的配置，而是可以被設(shè)計(jì)成與工具的尺寸、腿的布局和高度要求緊密匹配。此外，它的容量可以與有效載荷的質(zhì)量相匹配。

TOOL-Base優(yōu)勢(shì):

-硬安裝技術(shù)：TOOL-Base是帶有內(nèi)部氣動(dòng)振動(dòng)控制系統(tǒng)的理想工具，提供一個(gè)穩(wěn)定和堅(jiān)硬的平臺(tái)，以支持振動(dòng)敏感的工具。

-主動(dòng)慣性振動(dòng)消除：TOOL-Base采用高靈敏度，低頻慣性速度傳感器，以實(shí)現(xiàn)高水平的振動(dòng)衰減，即使在安靜的地面上。

-采用壓電技術(shù)的串行設(shè)計(jì)： 的串行設(shè)計(jì)和的高功率壓電技術(shù)使得0。6Hz開始的有源帶寬很寬，并且在2Hz開始的主動(dòng)減振90%達(dá)到的慣性主動(dòng)減振效果。

-配置靈活性：TOOL-Base的配置可以調(diào)整，以適應(yīng)刀具的底座和高度要求

SEM-Base LP:

SEM-Base LP是TMC標(biāo)準(zhǔn)SEM-Base有源壓電振動(dòng)消除平臺(tái)的定制低調(diào)版本。相比SEM-Base，SEM-Base LP易于安裝，提供出色的性能并經(jīng)過人體工程學(xué)優(yōu)化。輕巧簡(jiǎn)便的改進(jìn)，并不影響其功能——的STACIS壓電技術(shù)，并具有與我們行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SEM-Base VI相同的振動(dòng)消除性能。

SEM-Base LP性能規(guī)格
主動(dòng)自由度	6
主動(dòng)帶寬	0.6 Hz - 100 Hz
被動(dòng)固有頻率	標(biāo)稱值為12 Hz
有效的主動(dòng)共振頻率	0.5 Hz
1 Hz時(shí)的隔振	40% - 70%
2 Hz時(shí)的隔振	90%
≥3 Hz時(shí)的隔振	90 - 98%
內(nèi)部噪音	<0.1 nm RMSd>
工作負(fù)載范圍	承重能力：900 - 2,500磅（408 - 1134千克）
工作負(fù)載范圍
4英寸（102毫米）距離平臺(tái)的磁場(chǎng)發(fā)射	<0.02 μG broadbａnd RMSd>

LaserTable-Base:

LaserTable-Base™是現(xiàn)有光學(xué)平臺(tái)隔振技術(shù)的一大飛躍。通常，光學(xué)平臺(tái)由低頻氣動(dòng)隔振系統(tǒng)支撐。雖然在隔離高頻方面非常有效，但這些被動(dòng)系統(tǒng)實(shí)際上放大了關(guān)鍵的1至3 Hz范圍內(nèi)的振動(dòng)。

TMC的STACIS通過結(jié)合壓電致動(dòng)器和慣性振動(dòng)傳感器的專有技術(shù)克服了這些限制，可消除而不會(huì)放大極低頻振動(dòng)。LaserTable-Base將這兩項(xiàng)技術(shù)（空氣和STACIS）整合到一個(gè)集成的消振系統(tǒng)中。由于兩個(gè)串聯(lián)隔振系統(tǒng)的綜合效應(yīng)，這實(shí)現(xiàn)了低頻率消振和的高頻隔振水平。

LaserTable-Base的上部氣動(dòng)部分采用模塊化設(shè)計(jì)，可互換。它可以結(jié)合TMC的Gimbal Piston、MaxDamp空氣隔振器或剛性、非隔振支架，具體取決于應(yīng)用要求。

LaserTable-Base 規(guī)格：

-采用STACIS®技術(shù)

-主動(dòng)慣性消振系統(tǒng)

-消振從低于1 Hz開始

-加長行程的壓電致動(dòng)器，高達(dá)60微米。

-6個(gè)主動(dòng)自由度

-由兩個(gè)串聯(lián)隔振系統(tǒng)組成，可實(shí)現(xiàn)佳隔振效果

-采用MaxDamp®空氣隔振器

-簡(jiǎn)單、堅(jiān)固且經(jīng)濟(jì)高效

-可選的擱板，用于在工作臺(tái)下方安裝設(shè)備

-包括TMC的DC-2020數(shù)字控制器

Stage-Base:

TMC繼續(xù)在技術(shù)的基礎(chǔ)上開發(fā)新的解決方案，以滿足半導(dǎo)體工具對(duì)其隔振系統(tǒng)提出的挑戰(zhàn)性要求。Stage-Base 450是專為帶高精度電動(dòng)X-Y平臺(tái)的高級(jí)半導(dǎo)體工具而設(shè)計(jì)的主要消振系統(tǒng)。這些工具不但需要極其有效的消振性能，它們還要求由平臺(tái)引起的有效載荷運(yùn)動(dòng)能夠非?？焖俚胤€(wěn)定，以限度地提高工具吞吐量。通過增加帶有前饋控制的VCM，可以縮短穩(wěn)定時(shí)間，進(jìn)一步提高吞吐量，從而為移動(dòng)平臺(tái)應(yīng)用提供的主動(dòng)振動(dòng)和運(yùn)動(dòng)消除系統(tǒng)。

Stage-Base 450 規(guī)格：

-采用的STACIS®技術(shù)

-采用高力、加長行程的壓電致動(dòng)器

-有效載荷的位置可重復(fù)性在微米以內(nèi)

-框架安裝設(shè)計(jì)

-6個(gè)主動(dòng)自由度

-可選的VCM前饋和/或反饋

-始于0.6 Hz的主動(dòng)隔振

-響應(yīng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)的快速穩(wěn)定時(shí)間

-無軟空氣懸架

-通過USB 2.0實(shí)現(xiàn)基于PC的圖形用戶界面（GUI）的高速數(shù)字控制器

-簡(jiǎn)單、堅(jiān)固且經(jīng)濟(jì)高效