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激光干涉儀檢測(cè)數(shù)控車床輕松提高定位精度中圖儀器（chotest）SJ6000

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SJ6000系列激光干涉儀檢測(cè)數(shù)控車床，輕松提高定位精度

詳細(xì)介紹

SJ6000系列激光干涉儀檢測(cè)數(shù)控車床，輕松提高定位精度。它采用進(jìn)口高性能氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，以及高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，4m/s的測(cè)量速度，以及納米級(jí)的分辨率。其高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償。

SJ6000系列激光干涉儀檢測(cè)數(shù)控車床具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，還可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

▲主要鏡組圖

（線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。）

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)： SJ6000
產(chǎn)品名稱：激光干涉儀
穩(wěn)頻方式：雙頻激光雙縱模熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度： 0.04ppm
測(cè)量距離：≤（0-80）m（無需遠(yuǎn)距離線性附件）
測(cè)量分辨力：1nm
測(cè)量至大速度：4m/s
線性測(cè)量精度：±(0.2μm+0.3μm/m) (0～40)℃
角度測(cè)量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測(cè)量距離，單位：m)
主要特點(diǎn)：測(cè)量、恒測(cè)力、無阿貝誤差

SJ6000系列激光干涉儀檢測(cè)數(shù)控車床測(cè)量分辨率0.01″，系統(tǒng)測(cè)量精度為±1″，基準(zhǔn)WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)精度為0.2″。主要特點(diǎn)是小巧便攜、功能強(qiáng)、無線操作。具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。

關(guān)鍵詞：激光干涉儀