中圖儀器的SJ6000型號
激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展而來的一種基于外差技術(shù)的高精度測量儀器，它可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標(biāo)測量機(jī)等，也可以棄車間，用于特殊場合，諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計算機(jī)存儲器上記錄槽間距的測量等等。
產(chǎn)品參數(shù) 產(chǎn)品型號：SJ6000
產(chǎn)品名稱：SJ6000激光干涉儀
穩(wěn)頻方式：雙頻激光熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃
線性測量距離：（0-80）m（無需遠(yuǎn)距離線性附件）
角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
測量分辨力：1nm
動態(tài)采集頻率：50KHz
預(yù)熱時間：≤6分鐘
工作溫度范圍：（0-40）℃
環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：0-95%
主要特點(diǎn)：應(yīng)用范圍廣、測量精度高、操作方便
產(chǎn)品特點(diǎn) SJ6000
激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)垂直度、平行度、角度、直線度、線性測長、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺
產(chǎn)品優(yōu)勢 1）精度高
SJ6000
激光干涉儀采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計，保證了干涉光路穩(wěn)定可靠；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償。
2）功能廣
- 可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；
- 可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
- 可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；
- 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；
- 具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；
- 支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
3）軟件強(qiáng)
- 友好的人機(jī)界面；
- 豐富的應(yīng)用功能模塊；
- 向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/li>
- 簡潔化的記錄管理；
- 支持中文、英文和俄文界面；
- 支持企業(yè)專屬模板定制。
4）標(biāo)準(zhǔn)多
內(nèi)置13份標(biāo)準(zhǔn)，包含GB、ISO、英標(biāo)、美標(biāo)、德標(biāo)、日標(biāo)等國內(nèi)外通用標(biāo)準(zhǔn)?？梢罁?jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。
應(yīng)用案例 測量機(jī)床回轉(zhuǎn)軸精度
測量機(jī)床直線度
數(shù)控機(jī)床精度校準(zhǔn)
在這些測量中，除了應(yīng)用激光干涉?zhèn)鞲衅鳒y定工作臺（或測桿）位移外，還需有相應(yīng)的瞄準(zhǔn)裝置。常用的有光電顯微鏡瞄準(zhǔn)（應(yīng)用于線紋尺及某些工件尺寸和坐標(biāo)位置測量），白光干涉瞄準(zhǔn)（用于量塊檢定）及接觸瞄準(zhǔn)（用于一般精密量塊及工件尺寸和坐標(biāo)位置測量）。激光干涉?zhèn)鞲衅鬟€可應(yīng)用于精密定位，如精密機(jī)構(gòu)加工中的控制和校正、感應(yīng)同步器的刻劃、集成電路制作等的定位。
此前，國產(chǎn)與國外的產(chǎn)品有著一定的差距，SJ6000
激光干涉儀型號的推出打破了這一局面，降低了企業(yè)的檢測成本。在測量精度、測量速度、測量類型等方面，SJ6000
激光干涉儀為用戶提供了選擇。
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