5410型是一種質量流量計，具有進一步改進的基本性能。
雖然外觀是傳統(tǒng)產(chǎn)品，但傳感器驅動方法已得到改進，以減少零漂移。
它是一種通過金屬密封結構具有高氣密性的產(chǎn)品，并增加了切口接頭。
- 提高每個流量范圍的精度
- 適用于微流量（選項規(guī)格）
- 由于無焊接結構（VCR規(guī)格），金屬密封，泄漏低
- 價格便宜
標準規(guī)格
| 流量范圍 （N2轉換20°C / 1 ATM） | 1SCCM~20SLM（任意條件選擇） | |
|---|---|---|
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | |
| 準確性 | ±1％F.S.（20°C） | |
| 溫度系數(shù) | 0.1％F.S./°C（15~35°C） | |
| 再現(xiàn)性 | ±0.2%F.S.（20°C）內(nèi) | |
| 可工作壓力 | 300kPa（G）以下 | |
| 耐壓 | 980kPa（G） | |
| He泄漏率 | 1 x 10-11 Pa.m3/s以下 | |
| 允許周圍溫度 | 0~50℃（精度保證溫度15.35°C±0.1％FS /°C） | |
| 允許環(huán)境濕度 | 10~90%RH（無結露） | |
| 氣體接觸材料 | 車身SUS316L | |
| 隔膜Ni.Co | ||
| 閥座PTFE | ||
| 密封材料SUS316L，Ni | ||
| 電氣連接 | Dsub 9針KFC 標準（符合SEMI標準） | |
| 流量設定 輸入信號 | 0~5 VDC（最小負載電阻250kΩ以上） | |
| 所需電源 | +15 VDC（±5％）100 mA， -15 VDC（±5％）100 mA | |
| 配件（車身尺寸） | 標準1/4 VCR等效 | |
| 重量 | 約800g | |
警告
流量范圍附帶的規(guī)格（流量范圍，精度等）是N2或空氣轉換中的規(guī)格。
有關MFC規(guī)格，請單獨查詢。
接線連接
Dsub 9針KFC標準引腳排列
尺寸圖
