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武漢瑞德儀科技有限公司


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Hysitron TI Primer納米壓痕儀

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更新時間:2022-10-16 13:54:12瀏覽次數(shù):430次

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產(chǎn)品簡介

Hysitron TI Premier 納米力學測試儀器在緊湊平臺中提供了定量納米力學表征技術(shù)

詳細介紹

納米力學測試系統(tǒng)

Hysitron TI Premier用于材料表征的多功能納米力學測試儀器

納米力學與納米摩擦學測試設(shè)備

布魯克的 Hysitron TI Premier 納米壓痕儀專為在緊湊的平臺內(nèi)提供業(yè)界的定量納米力學表征而設(shè)計。TI Premier 以久經(jīng)考驗的 Hysitron 技術(shù)為基礎(chǔ),提供一套廣泛的納米級力學和摩擦測試技術(shù)。利用 TI Premier 的多功能配置,可以完成對各種高級研究的準確測量,同時提供多種技術(shù)升級選項,以滿足您未來表征需求。

一、亮點

1)強大------功能模塊

為準靜態(tài)納米壓痕、動態(tài)表征、高溫特性和跨尺度測試提供量身定制的解決方案。

2)證明------Hysitron技術(shù)

確保納米級力學和摩擦測試的準確、可靠、定量。

3)適應(yīng)------系統(tǒng)配置

支持廣泛的復合和相關(guān)表征技術(shù),以滿足當前和未來表征需求。

二、特點

1TI 基礎(chǔ)配置

* 帶原位 SPM 成像的電容式傳感器

* 自動樣品臺

* 計量級花崗巖框架

* 防震設(shè)計

* 高分辨率光學成像

* 多種樣品加載方式

* 環(huán)境隔離罩

* 的控制技術(shù)

2)強大的基本配置------標準測試模式


  • 準靜態(tài)納米壓痕------定量描述小體積材料的力學性能
  • 納米摩擦磨損------測量納米級耐磨性
  • SPM成像-------利用壓頭直接成像,原位觀察壓痕及周圍三維形貌。


3)的控制和靈敏度

專有電容傳感器技術(shù)在納米壓痕測試過程中提供的測量噪聲水平(75 nN,<0.2 nm)、精度和可靠性。靜電驅(qū)動使用很少的電流,實現(xiàn)的溫度漂移特性,從而加快數(shù)據(jù)采集速度,獲得更高精度和更好的重復性。

4)定量表征能力

魯克開發(fā)了一套廣泛的定量表征技術(shù),實現(xiàn)強大的納米級材料研究。


  • 動態(tài)力學分析:存儲模量、損耗模量和損耗角作為測量深度、頻率和時間的函數(shù)。
  • 摩擦學:摩擦系數(shù)、耐刮擦性能、薄膜粘附力和納米級磨損。
  • 表面形貌表征:原位SPM成像,光學顯微鏡觀察和表面力學性能成像。
  • 電特性:原位接觸電阻、導電、相變和材料變形行為。
  • 環(huán)境控制:在高溫和可定制的氣態(tài)環(huán)境中,表征納米力學和納米摩擦性能。


三、應(yīng)用

實現(xiàn)特定功能的程序包

布魯克的 Hysitron TI Premier 提供針對準靜態(tài)納米壓痕、動態(tài)表征、高溫表征和跨尺度測試等量身定制的特定功能程序包。這些程序包的配置經(jīng)過優(yōu)化,可提供專用解決方案,以滿足您的研究和過程控制要求。

1準靜態(tài)納米壓痕:針對薄膜和不均勻材料優(yōu)化的納米力學特性。

2動態(tài)特征:準靜態(tài)和動態(tài)機械特性,可對從超軟到超硬等各種材料進行表征。

3高溫特性:研究機械特性和時間基于溫度的變形行為。

4跨尺度測試:在納米和微米尺度上的納米壓痕測試。

 

四、附件

特色選項和附加組件

1xSol 環(huán)境控制腔與載臺------環(huán)境控制腔實現(xiàn)了定量納米力學性能和納米摩擦學特征隨著溫度、氣氛變化

2nanoECR ------納米壓痕測試的原位導電特性可以和納米力學性能,材料形變行為和接觸電阻等同步研究

3xProbe------基于 MEMS 傳感器的探針可以實現(xiàn)原子力顯微鏡級別的超低力和位移噪音水平

4iTF ------的原位薄膜力學性能分析包提供了排除基底效應(yīng)影響的薄膜和多層膜結(jié)構(gòu)的定量力學性能

53D OmniProbe 和多量程NanoProbe------通過擴展力和位移測量量程實現(xiàn)微米尺度的力學和摩擦學特性表征

6同步拉曼光譜------原位研究力學性能和摩擦學特性與材料結(jié)構(gòu)和化學成分的相關(guān)性

7熒光顯微鏡聯(lián)用------集成熒光顯微鏡可實現(xiàn)熒光共定位納米力學測試等

8電化學模塊------實現(xiàn)氧化和還原環(huán)境下的原位定量納米力學和納米摩擦學行為研究

9自動探針更換模塊------按鈕操作的自動探針更換模塊

10樣品臺------ 多尺度的磁性、機械和真空固定方式可以固定幾乎所有待測樣品,包括 300mm 晶圓

11TriboAE™------ 聲音傳感器能通過針尖原位監(jiān)測納米壓痕過程中的斷裂和形變產(chǎn)生的聲音信號

12TriboImage™------納米尺度劃痕/磨損的實時表征


 五、相關(guān)圖片


1)(100) 硅上的五個載荷納米壓痕系列測試,顯示了 Hysitron TI Premier 納米力學測試系統(tǒng)業(yè)界的噪聲水平、性能和數(shù)據(jù)可重復性

2)熔融石英上的力與位移曲線顯示彈塑性材料的典型響應(yīng),并在準靜態(tài)納米壓痕測試后通過原位SPM成像,顯示殘余壓痕形貌

3)350°C(紅色)、500°C(綠色)和600°C(紫色)時的 NiCoCrAlY 載荷-位移曲線。這些曲線的低離散性和常規(guī)形狀表明 Hysitron TI Premier 納米壓痕在高溫下的高穩(wěn)定性


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