輪廓儀部分
測(cè)量范圍（輪廓）	X軸（橫導(dǎo)軌）		320mm
	Z1軸（傳感器）		60mm
	Z軸（立柱）		500mm
X軸距離測(cè)量精度	±(1+L/300)μm (L=X軸導(dǎo)軌移動(dòng)距離,單位：mm)
Z1軸測(cè)量精度	±(+6H/100) μm (H=Z1軸方向測(cè)量高度,單位：mm)
X軸橫臂	直線度	μm/60mm
	光柵分辨率	μm
	光柵產(chǎn)地	美國(guó)microe
Z1軸傳感器	分辨率	μm
	傳感器	數(shù)字傳感器
	產(chǎn)地	美國(guó)microe
	移動(dòng)方向	前/后雙方向
	測(cè)力
	測(cè)針形狀	硬質(zhì)合金R：mm
	測(cè)針長(zhǎng)度	20mm
	測(cè)桿長(zhǎng)度	150mm
	爬坡角度	上升77度下降88度
速度（輪廓）	測(cè)量速度	/s,mm/s,mm/s,/s,/s,/s,/s,/s(8個(gè))
	定位速度	/s,mm/s,/s,/s,/s,/s,/s,/s(8個(gè))
綜合調(diào)整臺(tái)	X軸水平傾斜調(diào)整范圍：±30° Y軸方向調(diào)整范圍：± Z軸回轉(zhuǎn)可調(diào)360度（帶微調(diào)裝置）
承載重量	120KG
圖形放大	可任意縮小、放大
粗糙度部分
測(cè)量范圍（粗造度）	X軸	Ra： um~ um
	Z1軸	±20um，±40um，±80um
	取樣長(zhǎng)度L	，0，，自動(dòng)
	評(píng)定長(zhǎng)度	1L~5L（可選，L為取樣長(zhǎng)度）
	測(cè)量行程長(zhǎng)度	3L~7L（可選，L為取樣長(zhǎng)度）
示值精度（粗糙度）
示值誤差（粗糙度）	≤±7%
測(cè)針（粗糙度）	針尖角度	90°
速度（粗糙度）	大驅(qū)動(dòng)行程長(zhǎng)度	1 / inch
小驅(qū)動(dòng)行程長(zhǎng)度	/ 2 inch
使用要求
測(cè)量使用要求	工作壓力	～
	氣源壓力	～0Mpa
	氣源流量	≥3/min
	電源	AC 220V±10% 50Hz
	環(huán)境要求	溫度：10～30℃；相對(duì)濕度：＜85%

關(guān)鍵詞：輪廓儀傳感器

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