產(chǎn)品簡介
HS-T50無接觸厚度TTV電阻率綜合測試系統(tǒng)是一款廣泛應(yīng)用于太陽能電池片制造過程中對表面厚度TTV電阻率無損測量的專業(yè)儀器。該儀器適用于Si，GaAs，InP，Ge等幾乎所有的材料，所有的設(shè)計都符合ASTM（美國材料實驗協(xié)會）和Semi標(biāo)準(zhǔn)，確保與其他工藝儀器的兼容與統(tǒng)一。
產(chǎn)品特點
■ 無接觸無損傷測量
■ 適用的晶圓材料包括Si，GaAs，InP，Ge等幾乎所有的材料
■ 抗干擾強(qiáng)，穩(wěn)定性好
■ 強(qiáng)大的工控機(jī)控制和大屏幕顯示
■ 一體化設(shè)計操作更方便，系統(tǒng)穩(wěn)定
■ 為晶圓硅片關(guān)鍵生產(chǎn)工藝提供精確的無接觸測量
技術(shù)指標(biāo)
■ 測試尺寸：50mm- 300mm.
■ 厚度測試范圍：1000 um，可擴(kuò)展到1700 um.
■ 測試精度：+/-0.25um
■ 電阻率測試范圍：0.1-50 ohm.cm
■ 測量精度：2%
■ 晶圓硅片類型：單晶或多晶硅
詳情咨詢：
北京合能陽光新能源技術(shù)有限公司
北京市通州區(qū)工業(yè)開發(fā)區(qū)光華路16號
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：肖
：xiaozongyong@henergysolar.com
公司：http://www.HenergySolar.com
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