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武漢嘉儀通科技有限公司
武漢嘉儀通科技有限公司
產(chǎn)品型號RTP-3-01
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地武漢市
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更新時間：2023-06-15 08:59:04瀏覽次數(shù)：674次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線| 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) |
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RTP快速退火爐 嘉儀通晶圓真空高溫退火設(shè)備可以用于金屬電極合金化、硬質(zhì)合金薄膜去應(yīng)力退火、石墨烯生長、器件退火RTP、材料再結(jié)晶、晶化、熱氧化RTO、熱氮化RTN、ITO膜致密化、應(yīng)用于超凈間、薄膜CVD生長、搭載電學測試模塊變溫電阻測量、等離子注入/接觸退火、太陽能電池片鍵合、低介電材料熱處理。
RTP快速退火爐 嘉儀通晶圓真空高溫退火設(shè)備可以用于金屬電極合金化、硬質(zhì)合金薄膜去應(yīng)力退火、石墨烯生長、器件退火RTP、材料再結(jié)晶、晶化、熱氧化RTO、熱氮化RTN、ITO膜致密化、應(yīng)用于超凈間、薄膜CVD生長、搭載電學測試模塊變溫電阻測量、等離子注入/接觸退火、太陽能電池片鍵合、低介電材料熱處理。
產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)
| 型號 | RTP-3-01系列 |
| 溫度 | 1200℃ |
| 升溫速率 | 50℃/s |
| 溫度均勻性 | ≦1%設(shè)定溫度 |
| 溫度控制 | 選用工業(yè)級溫控器，控溫精度±0.1℃ |
| 溫度傳感器 | 標準K型熱電偶 |
| 降溫速率 | 1200℃→400℃，200℃/min 400℃→100℃，20℃/min （自然冷卻） |
| 樣品尺寸 | W20 x L20 x T2 (mm) |
| 主機尺寸 | W420X L320X H220 (mm) |
| 主機重量 | 20.5kg |
RTP快速退火爐 嘉儀通晶圓真空高溫退火設(shè)備 產(chǎn)品特點：
快速加熱和降溫: 可控升溫速率可達50 ℃/s，特定條件下可以達到100 ℃/s。冷壁水冷設(shè)計能夠達到較大的降溫速率，特定條件下可達30 ℃/s。
精確控溫: 采用工業(yè)級溫控器進行PID精確控溫，目標溫度與設(shè)定溫度曲線一致性高，可實現(xiàn)室溫至1200 ℃的溫度精確控制。
適應(yīng)多種工藝環(huán)境: 滿足多種工藝氣氛下的熱處理（氮氣、氬氣等）。同時，通過選配真空泵，可以在真空條件下進行退火，真空度可達10-3Pa。
配備觀察窗口: 通過觀察窗口，可以實時觀察熱處理過程中的樣品變化。同時，可以結(jié)合相關(guān)測試方法進行原位測試分析。
高安全系數(shù): 采用爐壁超溫報警系統(tǒng)和冷卻水流量報警系統(tǒng)，多方位保障儀器使用安全。
●國產(chǎn)退火爐：擁有自主研發(fā)技術(shù)和制造能力，能快速反應(yīng)客戶售后需求。
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