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高溫?zé)崤_(tái)小型真空探針臺(tái)

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高溫?zé)崤_(tái)小型真空探針臺(tái)KT-0904T-R在高溫真空環(huán)境下的芯片測(cè)試、LD/LED/PD測(cè)試、光纖光譜特性測(cè)試、材料/器件的IV/CV特性測(cè)試、霍爾測(cè)試、電磁輸運(yùn)特性、高頻特性測(cè)試等

詳細(xì)介紹

高溫?zé)崤_(tái)小型真空探針臺(tái)KT-0904T-R

主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。探針臺(tái)從操作上來(lái)區(qū)分有：手動(dòng)，半自動(dòng)，全自動(dòng)從功能上來(lái)區(qū)分有：溫控探針臺(tái)，真空探針臺(tái)(低溫探針臺(tái))，RF探針臺(tái)，LCD平板探針臺(tái)，霍爾效應(yīng)探針臺(tái)，表面電阻率探針臺(tái)。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺(tái)，可編程承片臺(tái)、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測(cè)試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類。晶圓級(jí)半自動(dòng)面內(nèi)磁場(chǎng)探針臺(tái)詳細(xì)參數(shù)：垂直或面內(nèi)磁場(chǎng)探針臺(tái)，通用性設(shè)計(jì)；容納12寸晶圓。

推薦女同學(xué) 玫瑰紅男同學(xué) 土豪金微型高低溫真空探針臺(tái) 高溫400℃ 低溫-196℃ 測(cè)試光電材料氣敏濕敏材料等配真空4探針移動(dòng)精度5微米漏電噪聲10pA 可選配光纖接口真空接口數(shù)字源表光學(xué)減震臺(tái) 等......

高溫?zé)崤_(tái)小型真空探針臺(tái)KT-0904T-R參數(shù)

真空腔體
類型	加熱型350℃ 或者加熱制冷型室溫到350℃ 室溫到-190℃
腔體材質(zhì)	304不銹鋼
腔體內(nèi)尺寸	φ90x40mm
腔體上視窗尺寸	Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm）
腔體抽氣口	KF16
腔體進(jìn)氣口	公制3mm 6mm氣管接頭英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
腔體出氣口	公制3mm 6mm氣管接頭英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
腔體正壓	≤0.05MPa
腔體真空度	機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘）分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
樣品臺(tái)
樣品臺(tái)材質(zhì)	304不銹鋼
樣品臺(tái)尺寸	26X26mm
樣品臺(tái)-視窗距離	30mm（可選凹視窗間距15mm）
樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器	A 級(jí)PT100鉑電阻
樣品臺(tái)溫度	室溫到350℃（可選高低溫樣品臺(tái) 高溫350℃低溫-190℃）
樣品臺(tái)測(cè)溫誤差	±0.2℃
樣品臺(tái)變溫速率	高溫10℃/min 低溫5℃/min 值
溫控儀
溫度顯示	7寸人機(jī)界面
溫控類型	標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定（可選30段編程控溫）
溫度分辨率	0.1℃
溫控精度	±0.5℃
溫度信號(hào)輸入類型	PT100熱電阻（可選 K S B型熱電偶）
溫控輸出	直流線性電源加熱（液氮流量線性控制液氮制冷）
輔助功能	溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線
探針
電信號(hào)接頭	配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭香蕉插頭線長(zhǎng)1.2米
電學(xué)性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
探針數(shù)量	4探針（可定做6探針）
探針材質(zhì)	鍍金鎢針
探針尖	10μm
探針移動(dòng)平臺(tái)
X軸移動(dòng)行程	12mm ±6mm
X軸控制精度	≤5μm
Y軸移動(dòng)行程	12mm ±6mm
Y軸控制精度	≤5μm
Z軸移動(dòng)行程	12mm ±6mm
Z軸控制精度	≤5μm
數(shù)碼顯微鏡
顯微鏡類別	物鏡放大+電子放大
顯微鏡放大倍數(shù)	100倍
顯微鏡工作間距	50-150mm
相機(jī)分辨率	1080P 60幀
相機(jī)信號(hào)輸出	HDMI輸出+USB輸出
LED可調(diào)光源	LED光源
顯示屏	5寸屏幕一體機(jī)