溫度范圍

室溫＋10℃～250℃

溫度波動度

±0.5℃

溫度均勻度

≤±2℃

溫度過沖

≤5℃

工作室尺寸（單腔）

根據(jù)要求定制

潔凈度（class）

100級（符合FED-STD209E 標(biāo)準(zhǔn)）

功率

根據(jù)內(nèi)部尺寸而定

氣流控制方式

強制循環(huán)通風(fēng)，控制系統(tǒng)根據(jù)設(shè)定之溫度點通過PID 自動運算輸出的結(jié)果去控制加熱器的輸出量，終達到平衡

氣流循環(huán)裝置

內(nèi)置空調(diào)間、循環(huán)風(fēng)道及通風(fēng)電機

加熱方式

優(yōu)質(zhì)不銹鋼加熱器

隔板

每個腔體配二個隔板，用不銹鋼板沖孔制成

箱體外壁材料

冷軋鋼板靜電噴塑

箱體內(nèi)壁材料

為不銹鋼板內(nèi)壁氬弧焊（SUS316 或SUS304）

保溫材料

優(yōu)質(zhì)超細納米玻璃棉

氮氣接口

能將箱內(nèi)空氣排出，確保烘烤的硅片是在氮氣中進行；氮氣流量計需安裝在箱體的正面，進氣口安裝在箱體的后部，

電磁門鎖功能

有定時開啟門鎖功能，設(shè)備裝有電磁鎖和定時器，設(shè)備運行時電磁鎖動作將門鎖住，當(dāng)定時時間到后電磁鎖斷電將門打開，同時進行聲光提醒（注：定時器只控制電磁鎖和聲光提醒器，不需控制加熱器和電機）。設(shè)備還裝有自動/手動定時開關(guān)，可在不需定時的時候手動開啟電磁鎖（定時器具有復(fù)位功能

超溫保護裝置

采用獨立的超溫保護裝置，確保溫度不超限；當(dāng)保護裝置動作時自動切斷加熱電源并進行聲光報警、超溫保護控制儀采用LED 顯示控制器

計時方式

溫度達到工藝設(shè)定值時開始計時，并在計時結(jié)束時有蜂鳴提示

排風(fēng)口

直徑50mm的排風(fēng)口,安裝有調(diào)節(jié)閥

腔門密封性

密封條耐高溫>300℃

接地安全

安全保護，接地線

電氣安全保護

風(fēng)機過載保護;加熱系統(tǒng)超溫保護

MES接口

MES接口,可連接MES系統(tǒng)

管理生產(chǎn)單元有關(guān)的記錄和表格，包括工作指令、配方、工程圖紙、標(biāo)準(zhǔn)工藝規(guī)程、零件的數(shù)控加工程序、批量加工記錄、工程更改通知以及班次間的通訊記錄，并提供了按計劃編輯信息的功能。

能通過數(shù)據(jù)采集接口來獲取生產(chǎn)單元的記錄和表格上填寫的各種作業(yè)生產(chǎn)數(shù)據(jù)和參數(shù)。

提供工件在任一時刻的位置和狀態(tài)信息。其狀態(tài)信息可包括：進行該工作的人員信息；按供應(yīng)商劃分的組成物料、產(chǎn)品批號、序列號、當(dāng)前生產(chǎn)情況、警告、返工或與產(chǎn)品相關(guān)的其它異常信息。

以作業(yè)、訂單、批量、成批和工作單等形式管理生產(chǎn)單元間工作的流動。