智能型烤膠機(jī)，自動烤膠臺簡介：

   光刻工藝及其相干技術(shù)是微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）加工工藝的重要構(gòu)成部門。均膠以及烘焙是光刻工藝中不成缺少的一道兒工序，為增長膠層與硅片表面粘附能力，提高在接觸式暴光中膠層與掩模版接觸時的耐磨性能及不變膠層的感光靈敏度。高精密程控烤膠機(jī)是一種設(shè)計(jì)為精確控溫、準(zhǔn)確計(jì)時和接近式加熱的高性能實(shí)驗(yàn)室設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)智能化編程烤膠控制。

烤膠機(jī)升溫速度快，由高性能數(shù)顯溫控表加熱控制，長壽命、高熱均勻性的發(fā)熱部件供熱，高硬度、耐腐蝕的陽極氧化鋁面板。

適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆后，薄膜烘干，固化。熱板溫度穩(wěn)定度高，重復(fù)性好?？稍诠さV企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。

智能型烤膠機(jī)技術(shù)參數(shù)：

加熱尺寸：220*220mm,適用于?200毫米（8英寸）圓片或200x 200毫米方片以下尺寸產(chǎn)品；

溫度范圍：RT～300/400/500°C ；

溫度精度：0.1°C；

溫度均勻性：≤±1%℃；

電動頂針調(diào)節(jié)高度: 0～30mm；

加熱臺表面：耐腐蝕硬質(zhì)陽極氧化鋁制成；

加熱臺頂蓋：優(yōu) 質(zhì)不銹鋼制成；

加熱臺外殼：優(yōu) 質(zhì)冷軋板噴塑；

控制器單元：7寸全彩觸摸屏，高級PLC控制，實(shí)現(xiàn)在時間內(nèi)自動升降，可以定時取片；

電壓：220V / 50HZ；

功率：1000W；

輔助功能： 內(nèi)置真空泵， 自帶真空吸附功能和四組限位。

智能型烤膠機(jī)，自動烤膠臺特點(diǎn)：

1、烘烤時間減少；

2、重復(fù)性高；

3、對薄膜的固化效果好；

4、烤膠機(jī)整個面板溫度均勻，對基片膜層固化效果非常好；

5、陽極硬質(zhì)氧化鋁面板不粘面板；

6、帶頂升功能，可實(shí)現(xiàn)接近模式加熱烤膠；

7、程控準(zhǔn)確計(jì)時，精確控溫，頂升高度可調(diào)；

8、特殊的隔熱設(shè)計(jì)和長壽命、高均勻性發(fā)熱部件；