抗粘劑涂膠機(jī)，抗粘 劑真空預(yù)處理系統(tǒng)重要性

  在納米壓印工藝中為防止在退模過(guò)程中模板與壓印膠相互粘連破壞結(jié)構(gòu)，我們需要給模板制備抗粘層，制備抗粘層的方法以及模板的結(jié)構(gòu)也會(huì)影響到終的抗粘效果。當(dāng)模板結(jié)構(gòu)在100nm以下時(shí)，在液相中制備的抗粘層就不能*起到抗粘的作用。這是因?yàn)樵谀０宓慕锹渲袝?huì)滯留一部分空氣而導(dǎo)致抗粘材料無(wú)法到達(dá)這些位置然而，若采用氣相的方法則不存在這樣的問題。

抗粘劑涂膠機(jī)，抗粘 劑真空預(yù)處理系統(tǒng)參數(shù)

工作室尺寸 350×350×350，450*450*450（mm），可定制

材質(zhì) 外箱優(yōu)質(zhì)SUS#304不銹鋼，內(nèi)腔采用316L醫(yī)用不銹鋼

溫度范圍  可調(diào)節(jié)

溫度分辨率 0.1℃

溫度波動(dòng)度 ≤±0.5

潔凈度 設(shè)備采用無(wú)塵材料，適用100光刻間凈化環(huán)境

電源及總功率 AC 220V±10% / 50HZ     總功率約3.5KW  

控制儀表 人機(jī)界面+PLC

擱板層數(shù) 1-4層

抗粘劑添加量可調(diào)

真空泵 無(wú)油泵

抗粘劑涂膠機(jī)，抗粘劑真空預(yù)處理使用條件

環(huán)境溫、濕度5℃～＋35℃，相對(duì)濕度：≤85%；

周圍無(wú)強(qiáng)烈震動(dòng)；  

周圍無(wú)高濃度粉塵及腐蝕性物質(zhì)；

周圍無(wú)強(qiáng)烈電磁場(chǎng)影響；

設(shè)備應(yīng)放在堅(jiān)固平穩(wěn)的平面上，并使其保持水平狀態(tài)；

不小于0.3MPa高純氮?dú)猓?/span>

安裝設(shè)備使用空開電源 ；

有機(jī)尾氣排放管道。