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海德創(chuàng)業(yè)（北京）生物科技有限公司


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1050型射頻等離子處理儀

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產(chǎn)品型號(hào)1050型

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地北京市

聯(lián)系方式：楊陽查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2022-07-12 14:53:44瀏覽次數(shù)：430次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

原理：通過等離子體與固體表面的相互作用，消除固體表面的有機(jī)污染物，固體如：金屬、陶瓷、玻璃、硅片等等，同時(shí)可以用等離子處理系統(tǒng)對(duì)樣品表面進(jìn)行處理，改善樣品表面的特性，如親水/疏水特性，表面自由能，以及表面的吸附/粘附特性等等。

詳細(xì)介紹

  原理：通過等離子體與固體表面的相互作用，消除固體表面的有機(jī)污染物，固體如：金屬、陶瓷、玻璃、硅片等等，同時(shí)可以用等離子處理系統(tǒng)對(duì)樣品表面進(jìn)行處理，改善樣品表面的特性，如親水/疏水特性，表面自由能，以及表面的吸附/粘附特性等等。
    1050型射頻等離子處理儀（Plasma Asher）的等離子處理單元由固態(tài)射頻發(fā)生器結(jié)合調(diào)諧電路組成。同時(shí)兩種處理氣體流量針閥監(jiān)控，全部或部分通氣口控制。
 
應(yīng)用領(lǐng)域：
  • 生物芯片領(lǐng)域
  • 科研材料、光學(xué)材料研究
  • 電子半導(dǎo)體領(lǐng)域
  • 高分子材料研究
  • 電化學(xué)、零部件處理
  • 有機(jī)材料的灰化、刻蝕
儀器性能：
  • 自動(dòng)調(diào)頻高頻發(fā)生器
  • 內(nèi)置旋轉(zhuǎn)真空泵
  • 此系統(tǒng)通常使用氧及氬的混合氣體，氧去除有機(jī)物質(zhì)（碳?xì)浠衔铮?，氬?duì)樣品表面進(jìn)行刻蝕
  • 低溫等離子灰化、刻蝕、清洗 （0-150 watts RF）
  • 真空監(jiān)測(cè).
  • 雙重氣流針閥控制
  • 精確時(shí)間定時(shí)
  • 微處理器程序設(shè)置
  • LCD狀態(tài)數(shù)字顯示
  • 腔室為圓柱形，樣品裝載為抽屜式抽拉系統(tǒng)，樣本操作方便
  • 聚碳酸脂安全防護(hù)  
技術(shù)參數(shù)：
 
電鏡有機(jī)樣本的刻蝕尺寸
450mm（W）x350mm（D）x300mm（H）
工作腔室
派熱克斯玻璃 150mm（L）x100mm（Dia.）
（硼硅酸鹽玻璃為標(biāo)準(zhǔn)配置）
重量
25Kg
等離子體輸出
zui大150w，13.56 MHz 。
等離子體輸出
zui大150w，13.56 MHz 。
真空度
>ATM to 1 x 10-5mbar；通常 0.5 mbar to 1.0 mbar.
時(shí)間控制
zui長(zhǎng)可設(shè)置99小時(shí)59分鐘
雙重氣流控制
雙重針閥氣流控制，可選1種或2種氣體（校準(zhǔn) 5-100cm3/min air at A.T.P）
電源
230 V， 50Hz （3 amp Max）
 
產(chǎn)品信息：
 
貨號(hào)
產(chǎn)品名稱
規(guī)格
93000
EMS 1050 Plasma Asher
臺(tái)
91005-F
Rotary Vacuum Pump （Fomblin）
個(gè)
 

 

關(guān)鍵詞：芯片 真空泵

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