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Q150TS,高真空鍍膜儀廠家 產(chǎn)品概述:
金屬濺射或碳蒸發(fā)或兩者兼?zhèn)洌阂惑w化設計,節(jié)約空間
精細顆粒濺射:高分辨率場發(fā)射掃描電鏡(FE-SEM)制樣的精細鍍膜應用
渦輪分子泵高真空系統(tǒng):允許不氧化貴金屬和易氧化其它金屬靶材的濺射鍍膜,大大拓寬了可濺射靶材范圍,既適合普通SEM、高分辨率FE-SEM鍍膜制樣應用,也為許多薄膜應用等材料科研領域提供理想的鍍膜平臺
全自動觸摸屏控制:快速數(shù)據(jù)輸入,簡單操作
可儲存多個客戶自定義鍍膜方案:對多用戶實驗室十分理想
與鍍膜過程和鍍膜材料相匹配的預編程自動真空控制
精細的厚度控制:使用膜厚監(jiān)控選項
“智能”式系統(tǒng)識別:自動感知用戶所裝的插入式鍍膜頭的類型
高真空碳蒸鍍:對SEM和TEM鍍碳膜應用非常理想
蒸發(fā)電流波形控制
Drop-in落入式快換樣品臺(標配旋轉臺)
真空閉鎖功能:可讓工作腔室處于真空狀態(tài),改善后續(xù)真空效果,或在真空條件下保存樣品
鍍制厚膜能力:一次真空條件下的濺射時間可長達60分鐘(材料科研領域的應用)
人體工程學設計的整體成型機殼:易維護和易拆裝
帶有本地FTP服務器連接的以太網(wǎng)端口:簡單的程序更新
設有功率因素補償,有效利用電能,降低運行成本
符合當前電器法規(guī)(CE認證)
產(chǎn)品參數(shù):
工作腔室:150mm內(nèi)徑 x 127mm高
觸摸屏全圖像用戶界面
樣品臺:標配旋轉臺
真空系統(tǒng):
渦輪分子泵:帶有空氣冷卻的渦輪分子泵
旋轉機械泵:雙級旋轉機械泵
濺射電流:0-150mA;可預設膜厚(需FTM選項)或使用內(nèi)置定時器
濺射時間:zui長60分鐘
碳蒸發(fā):穩(wěn)定的無紋波直流電源控制的脈沖蒸發(fā),確保源自碳棒或碳絲的可重復蒸碳。
金屬蒸發(fā)/光闌清潔頭:用于源自鎢絲籃或舟的金屬熱蒸發(fā)。
尺寸和重量:儀器機箱:585mm寬x 470mm長 x 410mm高 (總高: 650mm)
儀器總重量:33.4Kg
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