硅片清洗用的超純水是怎樣生產(chǎn)出來的

2024年04月07日 15:25:52人氣：771來源：萊特萊德（北京）純水設(shè)備技術(shù)股份有限公司

　　硅晶圓是由高純度的多晶硅經(jīng)過一系列復(fù)雜的物理、化學(xué)過程拉制單晶硅棒后，再通過切片工藝加工而成的薄片。在半導(dǎo)體行業(yè)中，硅片是制造各種集成電路的主要載體。在太陽能光伏產(chǎn)業(yè)中，硅片同樣扮演著核心角色，用于制造太陽能電池片，可將太陽光能轉(zhuǎn)化為電能。

　　隨著科技的發(fā)展，硅片尺寸不斷增大，對硅片的質(zhì)量和生產(chǎn)技術(shù)的要求也越來越高。硅片表面平整度和潔凈度要求非常嚴格，以確保在其基礎(chǔ)上制造出的集成電路性能優(yōu)良、可靠性高。為此，硅片清洗往往使用的是高純度的超純水。這種水基本只含有氫原子和氧原子兩種成分，可采用超純水設(shè)備來進行大量生產(chǎn)。

　　超純水設(shè)備采用了“反滲透+EDI+拋光混床”技術(shù)，出水電阻率可達18MΩ*cm(25℃)，質(zhì)量穩(wěn)定。其采用的反滲透技術(shù)可以對超純水中的各種納米級雜質(zhì)分離去除，過濾精度高。EDI技術(shù)是實現(xiàn)超純水深度脫鹽的關(guān)鍵技術(shù)，結(jié)合末端的拋光混床技術(shù)可以最終確保出水水質(zhì)。

div>　　概括超純水設(shè)備的技術(shù)特點，主要有：

　　1.采用靶向離子交換系統(tǒng)針對超純水中難處理的硼及其他離子定向去除;

　　2.膜系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)帶電荷運行，離子遷移速度更快，脫鹽效果更優(yōu);

　　3.采用PLC智能化程序，能靈活進行操作，人力投入節(jié)約;

　　4.系統(tǒng)運行無污染物析出，確保了系統(tǒng)內(nèi)無死水;

　　5.采用新型均粒樹脂包填充，高頻電子極板形成強電場運行環(huán)境，有效提高脫鹽率。

　　該設(shè)備具有出水水質(zhì)穩(wěn)定、無酸堿再生、自動化強、安裝簡單、操作方便的優(yōu)勢，具有很高的性價比，能為硅片清洗供給優(yōu)質(zhì)水源。

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