Pfeiffer HiCube RGA 質(zhì)譜分析儀--殘余氣體分析的一體化解決方案
一體化:伯東公司代理的德國(guó)進(jìn)口普發(fā)新款 Pfeiffer HiCube RGA 真空泵組質(zhì)譜儀根據(jù)客戶的氣體分析需求,提供一個(gè)簡(jiǎn)單,直接的解決方案。HiCube RGA 質(zhì)譜儀(殘余氣體分析儀)適用于移動(dòng)應(yīng)用,并且提供高解析度和靈敏度。結(jié)合了 PrismaPlus 四級(jí)質(zhì)譜儀和 Hicube 分子泵組的 HiCube RGA 質(zhì)譜儀(殘余氣體分析儀)為廣泛的應(yīng)用提供了可測(cè)量和分析的單元。高科技元件內(nèi)部協(xié)調(diào)*。
集成安全:節(jié)流閥允許客戶變更進(jìn)氣壓力從而調(diào)節(jié)進(jìn)樣壓力(范圍:從大氣壓力到高真空均可)。一個(gè)額外工作的全量程真空計(jì)通過(guò)壓力監(jiān)測(cè)保護(hù)質(zhì)譜儀。當(dāng)壓力超過(guò)時(shí),這種壓力自動(dòng)監(jiān)控功能確保燈絲總是被提前充分切斷。這使我們的一體化系統(tǒng)不易誤操作造成損壞,久而久之節(jié)省金錢。
多種連接選擇: HiCube RGA 質(zhì)譜儀(殘余氣體分析儀)通用型設(shè)計(jì)。由于它的數(shù)位和類比輸入輸出系統(tǒng)以及單元自帶的quadera?軟體,它可以整合外部信號(hào)。同時(shí)提供了系統(tǒng)控制和過(guò)程監(jiān)測(cè)。軟體操作介面友好,介面同時(shí)提供測(cè)量值以及外部元件信號(hào)的整體顯示。
優(yōu)點(diǎn):
?從大氣壓力到高真空均可使用
?通過(guò)壓力監(jiān)測(cè)保護(hù)燈絲
?進(jìn)氣系統(tǒng)節(jié)流閥
?高解析度和靈敏度
?殘余氣體分析和氦檢漏功能
廣泛應(yīng)用:新款 HiCube RGA 質(zhì)譜儀(殘余氣體分析儀)提供的多功能性。不論是殘余氣體的分析,過(guò)程監(jiān)測(cè),氦氣檢漏或真空工藝連接上的品質(zhì)控制??蛻魪?HiCube RGA 得到的是一個(gè)完整的準(zhǔn)備就緒的研究和發(fā)展真空的解決方案,不論是半導(dǎo)體和鍍膜工業(yè)還是更多更深層的工業(yè)應(yīng)用。
典型應(yīng)用:
?殘余氣體分析
在一個(gè)容器內(nèi)分析殘余氣體,當(dāng)達(dá)到所需的極限壓力或條件要求時(shí),HiCube RGA 質(zhì)譜儀(殘余氣體分析儀)提供深入了解剩余物質(zhì)的組成成分。這可以得出關(guān)于物質(zhì)表面屬性,解析行為,純度和容器的密封性,以及工藝氣體組成的結(jié)論。它提供給客戶關(guān)于真空室或真空元件狀態(tài)的重要資訊。
?泄漏檢測(cè)
HiCube RGA質(zhì)譜儀(殘余氣體分析儀)的特點(diǎn)是氦氣檢漏模式可在軟體控制下啟動(dòng),此功能使得客戶在真空系統(tǒng)中更方便找到泄露點(diǎn)。
?過(guò)程監(jiān)控:
由于測(cè)量范圍可達(dá)到300amu,HiCube RGA質(zhì)譜儀(殘余氣體分析儀)能夠*清晰的觀察到128種選定氣體。回圈閾值可以分配給選定的氣體。如果氣體高于或低于要求的極限,控制系統(tǒng)通過(guò)數(shù)位輸出信號(hào)可以傳遞到更高一級(jí)。這樣就使 HiCube RGA質(zhì)譜儀可以提供即時(shí)的過(guò)程監(jiān)測(cè)和控制。
EVN 116 節(jié)流閥額外的允許真空系統(tǒng)中的壓力可以被改變以適應(yīng)討論過(guò)程中的需求,并且另外的集成關(guān)閉真空閥提供出色的可重復(fù)進(jìn)氣口。
?*和工藝優(yōu)化:
HiCube RGA質(zhì)譜儀(殘余氣體分析儀)能夠提供對(duì)氣體成分的定量測(cè)定并且確定工藝氣體純度,以及監(jiān)測(cè)與氣體成分有關(guān)的真空鍍膜工藝的能力,例如:在工藝設(shè)計(jì)和*上,它被認(rèn)為是一個(gè)重要的儀器。
即使測(cè)量正在進(jìn)行,所有的測(cè)量資料均被存儲(chǔ)。無(wú)需停止測(cè)量,資料依然可被跟蹤。甚至在一個(gè)測(cè)量仍在進(jìn)行時(shí),為進(jìn)一步的分析,測(cè)量結(jié)果也可輸出。
技術(shù)參數(shù):
尺寸及訂購(gòu)貨號(hào):
應(yīng)用實(shí)例:
伯東公司代理 Pfeiffer HiCubeRGA 質(zhì)譜儀(殘余氣體分析儀)獲得了越來(lái)越多客戶的青睞,不論是傳統(tǒng)行業(yè),還是新興高科技行業(yè),Pfeiffer質(zhì)譜分析儀都有著廣泛的應(yīng)用。
?廈門某材料公司,用于保溫新材料的開(kāi)發(fā)
?廣州某金屬研究院,用于儲(chǔ)氫材料的分析研究
?福州某結(jié)構(gòu)所,用于物質(zhì)熱分解成分分析研究
?珠海某封裝基板廠,用于*鍍銅工藝的分析研發(fā)
上海伯東主營(yíng)產(chǎn)品:德國(guó)普發(fā) Pfeiffer 渦輪分子泵,干式真空泵,羅茨真空泵,旋片真空泵;應(yīng)用于各種真空環(huán)境下的真空計(jì),氦質(zhì)譜檢漏儀,質(zhì)譜分析儀以及美國(guó)考夫曼公司 KRI 離子源 離子槍 霍爾源,美國(guó) HVA 真空閥門,Polycold 冷凍機(jī),離子刻蝕機(jī)等。
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