FT150、FT150h、FT150L日本日立X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x
日立(主營(yíng)EA1000AIII、EA1000VX、EA1200VX、EA1300VX、EA6000VX、FT110A、FT9300、FT9500、FT9500X、FT9550X、FT150、FT150h、FT150L),FT110A系列產(chǎn)品,搭載了性能X射線管,實(shí)現(xiàn)了高精度的測(cè)定。FT110A極微小準(zhǔn)直管和可變焦距光學(xué)系統(tǒng)的組合,實(shí)現(xiàn)了對(duì)極微小部分的測(cè)定。對(duì)有段差的樣品也適用。
1. 高速測(cè)量:通過X射線檢測(cè)機(jī)的改良,對(duì)于代表性的Au、Pd、Ni、Cu(金、鈀、鎳、銅)多鍍層測(cè)量,相比以前機(jī)型,效率提高了2倍以上。
2. 對(duì)應(yīng)超小型的芯片零部件的厚度測(cè)量(FT150h:FT150h通過新時(shí)開發(fā)的聚光導(dǎo)管,可以測(cè)量超小型芯片零部件(電容、電阻等)的電極部的鍍層厚度測(cè)量。
3. 兼顧安全性和簡(jiǎn)便性:采用防止X射線泄露的密集型框架和大開口且可以方便開啟和關(guān)閉的樣品門,兼顧安全性和簡(jiǎn)便性?!窮T150L」可以對(duì)應(yīng)600×600mm的大型線路板。
X射線熒光鍍層厚度儀「FT150系列」(FT150、FT150h、FT150L)是采用聚光X射線的聚光導(dǎo)管,可對(duì)微小部的鍍層厚度進(jìn)行高速測(cè)量的高性能儀器。通過X射線檢測(cè)儀器的改良,在線路板和連接器等使用的Au、Pd、Ni、Cu(金、鈀、鎳、銅)多鍍層檢測(cè)中,其測(cè)量速度與本公司以往機(jī)型(FT9500X,以下相同)相比,提高了2倍以上。在「FT150h」里通過新開發(fā)的聚光導(dǎo)管也可以測(cè)量超小型芯片零部件的端子鍍層厚度。而且跟以往機(jī)型相同,為操作員的安全和安心考慮,采用X射線泄露的可能性極小的密集型框架。新設(shè)計(jì)的樣品室門采用大開口,同時(shí)保證了開啟和關(guān)閉的便捷性。并且通過大型觀察窗口,可以方便地取放和定位樣品。另外,操作軟件通過圖標(biāo)和便捷畫面在提高了操作性的同時(shí),可通過數(shù)據(jù)自動(dòng)保存功能減輕操作員的業(yè)務(wù)。通過這些改進(jìn),「FT150系列」實(shí)現(xiàn)了高精度?迅速的鍍層厚度測(cè)量,為測(cè)量工作的效率化和成本削減做出了貢獻(xiàn)。