用于基于光纖傳感的真空物理實驗。
可以用于10-3Pa的真空度,同時滿足泄漏率要求。
工作光譜范圍:200-2500nm。有不同單模光纖(3.2/125,4/125,5/125,5.9/125,9/125…)、
多模光纖(50/125,62.5/125,105/125,200/220,400/440,570/600,...)可以選擇。
接口形式SMA905,F(xiàn)C/PC。
?
可按用戶要求定制。
北京維意真空技術應用有限責任公司的光纖過真空裝置是用來連接真空室內的光纖的,如等離子體的監(jiān)控。真空通管包括一個帶Viton型密封圈的M12螺絲和2個SMA光纖接頭,可以方便的和光纖探頭連接(需要額外訂購兩個SMA905光纖適配器)。由多種型號的真空通管與所有芯經的光纖匹配,從50um到1000um,而且分別有UV200~1100nm和IR400~2500nm波長型號。
真空通管概述
維意真空提供的光纖過真空裝置可以將光導入或導出真空室,以進行超高真空的應用場合,例如半導體處理的光學監(jiān)測和薄膜吸附的zui終檢測。
在隔空箱中和高壓應用場合下有較好的表現(xiàn),真空度高達zui大10 -72 mbar?,操作溫度高達300 °C,真空室壁厚5-40 mm,玻璃或金屬封口光纖使性能表現(xiàn)提高,光纖過真空裝置使用牢固的金屬-玻璃封口膠,在超高真空應用場合的表現(xiàn)得到提高。
光纖過真空裝置除了在半導體和薄膜處理方面的應用,還是環(huán)境檢測、藥物學處理和光學涂層生產的理想工具。它還可以應用在分子束外延和化學物理的蒸汽吸附方面,可以作為配合隔空箱、手套箱和中壓裝置的性能優(yōu)異的通管。
光纖過真空裝置的高壓與低壓面的終端可與SMA905連接器相連接,可以簡單地與光纖、光源、配件共同使用,以及光譜儀等光學設備。
光纖過真空裝置可以旋入真空樣品室上的一個M12外螺紋的孔,或可以用預備好的螺帽和墊圈旋入一個光滑的孔。裝配過程非常簡單,只需通過一個SMA905光纖適配器把光纖和光纖過真空通管連接起來即可。在樣品室的低壓面,我們建議用戶選配金屬硬殼的石英光纖配套。
光纖過真空裝置的光纖直徑有50μm、100μm、200μm、400μm、600μm和1000 μm可選;波長可選UV200~1100nm和IR400~2500nm,可選配SMA905或者FC接頭。