主要技術(shù)規(guī)范
1、真空室內(nèi)腔尺寸:寬×高×深:1950×1050×750(mm)
2、極限真空:1.3×10-4Pa(空載時)
3、抽氣時間:從大氣到9.7×10-4Pa≤50min
4、升壓率:≤5Pa/h。
5、真空測量:雙熱偶電離復(fù)合真空計1臺,熱偶規(guī)2支,大氣壓-1Pa;
電離規(guī)2支,10Pa-10-5Pa。
6、可鍍卷材:zui大幅寬:150mm,zui大卷徑:φ=400mm
7、卷繞速度:0.1-10mm/min
8、加熱器:
加熱器高功率:IGBT電源,35KW(可根據(jù)用戶要求配置)
數(shù)量:2個
加熱區(qū)域:控溫精度1℃,溫度均勻性3℃
9、氣氛控制:3臺D07—7B/ZM型氣體質(zhì)量流量計,
10、真空系統(tǒng):由脂潤滑分子泵,前級機械泵,羅茨泵,電磁氣動真
空閥門,真空管道組成。
11、冷卻水:循環(huán)冷卻水機。
去離子水電導(dǎo)率:小于50μ S /cm
壓力:0.1~0.25MPa, 流量:約10T/h,水溫<25℃
16、總功率:三相四線,380V,50HZ,80KV。
17、電氣控制系統(tǒng)一套,主要元器件均為施耐德品牌。
18、總控系統(tǒng):PLC控制,互鎖設(shè)定,觸摸屏顯示(可根據(jù)要求定制)。