半導(dǎo)體光纖生產(chǎn)用瑞澤氧氣凈化機(jī)
氧氣純化裝置、氧氣純化器 YYC系列氧氣純化裝置主要用于紅外碳硫分析儀配套及半導(dǎo)體、光纖的生產(chǎn)。
凈化原理
該系列凈化機(jī)利用在催化劑作用下可燃雜質(zhì)與氧氣反應(yīng)生成水和二氧化碳的原理除去氧氣中的可燃雜質(zhì),再利用吸附劑吸附脫除氧氣中的H2O、CO2等雜質(zhì),從而得到高純氧氣的。
技術(shù)參數(shù)
原料氧氣
一般瓶裝氧氣,液氧、管道氧氣均可滿足要求。
雜質(zhì)要求: 烴類≤1000PPm, H2O≤1000PPm。
輸出純氣
純度:99.9999%
雜質(zhì)含量:
烴類≤1PPm,
H2O≤1PPm(即露點(diǎn)≤-76℃),
CO+CO2≤0.1PPm,
塵埃粒子數(shù)(≥0.3μm)3-5個/升。
工作壓力:0.4-1.5MPa。
處理氣量:4NM3/h(其他流量需要定制)。
半導(dǎo)體光纖生產(chǎn)用瑞澤氧氣凈化機(jī)系列氧氣凈化機(jī)特點(diǎn)
1、對原料氧氣要求不高,允許雜質(zhì)氧含量高達(dá)1000ppm,因此,用戶選用廉價的工業(yè)氧氣作氣源也能達(dá)到要求;
2、本凈化機(jī)的催化劑活性高,吸附劑容量大,故使用成本更低。
3、本凈化機(jī)屬于催化再生式,使用失效后可通過反復(fù)再生*使用。
4 、本機(jī)為雙式結(jié)構(gòu),一組工作,另一組可以再生備用,而且工作和再生可以同時進(jìn)行,故能*連續(xù)供氣,即一臺能頂兩臺單式凈化機(jī)使用。
5、本機(jī)采用不銹鋼波紋管閥門,幾乎零泄漏,故設(shè)備安全性更高