可編程潔凈烘箱,程序無(wú)塵烘箱用途及執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn) | ||
制造標(biāo)準(zhǔn) | 本產(chǎn)品是參照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技術(shù)條件及國(guó)家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)研究制造。 | |
2、產(chǎn)品用途 | 主要應(yīng)用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無(wú)塵烘干的特殊工藝要求。 | |
3、適用行業(yè) | 應(yīng)用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無(wú)塵烘干的特殊工藝要求,適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽(yáng)能、新材料等行業(yè). | |
可編程潔凈烘箱,程序無(wú)塵烘箱技 術(shù) 性 能 參 數(shù) | ||
1、設(shè)備名稱 | 高溫?zé)o塵無(wú)氧烤箱 | |
2、設(shè)備型號(hào) | JS-MOA130-1F | |
3、主要技術(shù)參數(shù) | ||
3.1 工作室尺寸 | 450×450×650mm(W×D×H) | |
3.2 材質(zhì) | 外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑,內(nèi)箱采用SUS/304不銹鋼 | |
3.3 溫度范圍 | RT+10-450℃,使用溫度≤380℃ | |
3.4 溫度分辨率 | 0.1℃ | |
3.5 溫度波動(dòng)度 | <±1℃ | |
3.6 溫度均勻度 | ≤±2% | |
3.7 潔凈度 | class 100,設(shè)備采用無(wú)塵材料,適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境 | |
3.8電源及總功率 | AC 380V±10% / 50HZ 總功率約11.0KW | |
3.9 升溫時(shí)間 | 每分鐘5度,全程平均(空箱測(cè)試) | |
3.10降溫時(shí)間 | 降溫方式:水冷+風(fēng)冷,300℃-90℃降溫時(shí)間約為1小時(shí)(空箱測(cè)試) | |
3.11氧含量
| 高溫狀態(tài)氧含量:≤ 20ppm +氣源氧含量 | |
3.12 數(shù)據(jù)輸出 | 六通道溫度檢測(cè)記錄儀 |
潔凈烘箱,百級(jí)潔凈烤箱用途:
潔凈烘箱,百級(jí)潔凈烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
潔凈烘箱,百級(jí)潔凈烤箱特點(diǎn):
1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100;
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵;
3.采平面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器,將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部,且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱,省電節(jié)能溫度均勻性好,過濾效率99.99%,Class 100;
4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場(chǎng)分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到溫度控制精度。
潔凈烘箱,百級(jí)潔凈烤箱產(chǎn)品技術(shù)參數(shù):
1.主要技術(shù)指標(biāo):
無(wú)塵等級(jí):Class 100;
溫度范圍:RT+10~200℃;
溫度均勻度:±2℃;
溫度波動(dòng)度:±0.5℃(空載)
溫控精度:±0.1℃;
工作室尺寸:W800×D800×H1000(mm)
電源:380v , 50Hz,20KW
網(wǎng)板:2塊(高度可調(diào)節(jié))