Genesis-II型(510)是馳奔儀器第二代鎢絲槍掃描電鏡之中型分析掃描電鏡(馳奔儀器)
Genesis-II型掃描電鏡是全數(shù)字化控制,專業(yè)級(jí)電子顯微成像分析儀器。
中型分析掃描電鏡(馳奔儀器)采用立方結(jié)構(gòu)樣品室,拓展為中型樣品倉(cāng),具有更大有效分析空間,全內(nèi)置五軸優(yōu)中心自動(dòng)樣品臺(tái),具有更大的自由行程,靈活優(yōu)化電子顯微成像及分析信號(hào)幾何效率,獲得更*成像分析效果。
硬件特征:
全數(shù)字控制,專業(yè)級(jí)電子光學(xué)系統(tǒng);
主機(jī)電器一體化,結(jié)構(gòu)緊湊,占地小 ;
中型樣品倉(cāng),接配專業(yè)EDS、WDS、EBSD、CL等,分析附件探測(cè)器更協(xié)調(diào)工作 ;
優(yōu)中心樣品,五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng),計(jì)算機(jī)導(dǎo)航 ;
高真空成像模式 。
五軸優(yōu)中心樣品臺(tái)
馬達(dá)驅(qū)動(dòng),計(jì)算機(jī)導(dǎo)航控制
全內(nèi)置設(shè)計(jì),樣品臺(tái)操作無真空貫穿件活動(dòng)部件,高可靠
性能指標(biāo)
型號(hào) | Genesis-510 全自動(dòng)掃描電鏡 |
樣品臺(tái) | 五軸優(yōu)中心,全自動(dòng) X:90mm | Y: 60mm | Z: 5-60mm | R:360°無限 | T:-20°~90° |
電子槍 | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲 三極自動(dòng)偏壓 |
加速電壓 | 200V-30KV (大發(fā)射電流190μA @ 30KV/大電子槍功率:5.7W) |
探測(cè)器 | ET-SED |
物鏡光闌 | 20μm 20μm 50μm 100μm 四位可變光闌 |
分辨率 | 4nm @30KV ( SEI) |
放大倍數(shù) | 10-300,000 X |
樣品室 | Se、Bse、EDS、WDS、EBSD、CL等探測(cè)器接口 |
大樣品尺寸 | Φ150mm X 60mm |
工作距離 | 0-60mm |
掃描光柵運(yùn)動(dòng) | 電位移 ±50μm, 電旋轉(zhuǎn) 0-360° |
掃描模式 | 聚焦模式:320X240 像素 ,尺寸可變 TV模式:800x 600像素 慢掃描模式,用于TV及聚焦模式。 照相模式:800X600、960X720、1024x768、1600x1200、大3200x2400像素 |
圖像格式 | JPG、TIFF、bmp、PNG |
真空模式 | 高真空優(yōu)于9x10-3Pa |
真空系統(tǒng) | 全自動(dòng)真空系統(tǒng),真空高壓連鎖安全保護(hù)(高真空時(shí)間小于3分鐘) -渦輪分子泵 |
自動(dòng)功能 | 亮度/對(duì)比度, 聚焦, 電子槍對(duì)中、偏壓、飽和,物鏡光闌搖擺對(duì)中 |
軟件系統(tǒng) | 基于Win8,Virtuoso1.1控制軟件. 內(nèi)嵌長(zhǎng)度角度面積測(cè)量、圖像編輯處理工具。*鼠標(biāo)鍵盤操作。 |
主機(jī)尺寸/重量 | 600(W)x623(D)x 1350(H)mm /130kg |
電源 | 單相交流 220V 、50Hz、1KW |
耗材附件 | 預(yù)對(duì)中燈絲,樣品托,碳導(dǎo)電膠帶,導(dǎo)電銀膠,工具 |
可選配置 | 四象限BSED | 樣品室攝像機(jī) | 升級(jí)LaB6/CeB6陰極 | 3D重構(gòu)成像軟件 | 拉曼光譜 | EDS能譜儀 | WDS波譜儀 | EBSD 電子背散射衍射 | CL 陰極熒光 |電子束曝光裝置 |