等離子表面處理設(shè)備整體解決方案提供商
1.真空等離子噴涂(VPS)解決方案
離子噴涂技術(shù)是采用由直流電驅(qū)動的等離子電弧作為熱源,將陶瓷、合金、金屬等材料加熱到熔融或半熔融狀態(tài),并以高速噴向經(jīng)過預(yù)處理的工件表面而形成附著牢固的表面層的方法。而真空等離子噴涂是指在氣氛可控的,4~40Kpa的密封室內(nèi)進行等離子噴涂技術(shù)。因為工作氣體等離子化后,是在低壓氣氛中邊膨脹體積邊噴出的,所以噴流速度是超音速的,而且非常適合于對氧化高度敏感的材料。
2.等離子表面處理設(shè)備整體解決方案提供商:TSP/OLED解決方案
等離子處理OLED陽極金屬(ITO)
應(yīng)用于彩色顯示器的有機發(fā)光器件(OLED)具有優(yōu)秀的圖象質(zhì)量,特別是在亮度以及對比度等方面。近十年來,對OLED的研究得到廣泛的關(guān)注,對未來的圖象顯示技術(shù)帶來無法估量的沖擊。OLED器件的性能與空穴注入過程有非常密切的關(guān)系,通過使用錫摻雜氧化銦(ITO)做OLED的陽極。
固體表面的結(jié)構(gòu)和組成都與內(nèi)部不同,處于表面的原子或離子表現(xiàn)為配位上的不飽和性,這是由于形成固體表面時被切斷的化學(xué)鍵造成的。正是由于這一原因,固體表面極易吸附外來原子,使表面產(chǎn)生污染。因環(huán)境空氣中存在大量水份,所以水是固體表面常見的污染物。由于金屬氧化物表面被切斷的化學(xué)鍵為離子鍵或強極性鍵,易與極性很強的水分子結(jié)合,因此,絕大多數(shù)金屬氧化物的清潔表面,都是被水吸附污染了的。
OLED封裝預(yù)處理
- 點銀膠前基板上的污染物會導(dǎo)致銀膠呈圓球狀,不利于芯片粘貼,而且容易造成芯片手工刺片時損傷,使用等離子清洗可以使工件表面粗糙度及親水性大大提高,有利于銀膠平鋪及芯片粘貼,同時可大大節(jié)省銀膠的使用量,降低成本。
- 引線鍵合前芯片粘貼到基板上后,經(jīng)過高溫固化,其上存在的污染物可能包含有微顆粒及氧化物等,這些污染物從物理和化學(xué)反應(yīng)使引線與芯片及基板之間焊接不*或粘附性差,造成鍵合強度不夠。在引線鍵合前進行等離子清洗,會顯著提高其表面活性,從而提高鍵合強度及鍵合引線的拉力均勻性。鍵合刀頭的壓力可以較低(有污染物時,鍵合頭要穿透污染物,需要較大的壓力),有些情況下,鍵合的溫度也可以降低,因而提高產(chǎn)量,降低成本。
- OLED封膠前在OLED注環(huán)氧膠過程中,污染物會導(dǎo)致氣泡的成泡率偏高,從而導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量及使用壽命低下,所以,避免封膠過程中形成氣泡同樣是人們關(guān)注的問題。通過等離子清洗后,芯片與基板會更加緊密的和膠體相結(jié)合,氣泡的形成將大大減少,同時也將顯著提高散熱率及光的出射率。離子清洗是利用氣體電離后產(chǎn)生的等離子體對污染表面進行物理濺射或化學(xué)反應(yīng)的作用分解污染物,分解的產(chǎn)物隨著氣流被帶離表面,從而獲取清潔干燥的表面。
- 等離子清洗過后,檢測芯片與基板清洗效果的另一指標(biāo)為其表面的浸潤特性,通過對幾家產(chǎn)品進行實驗檢測表明未進行等離子清洗的樣品接觸角大約為40°~68°左右;表面進行化學(xué)反應(yīng)機制等離子體清洗的樣品接觸角大約為10°~17°左右;表面進行物理反應(yīng)機制等離子體清洗過的樣品接觸角為20°~28°左右。
3.等離子-半導(dǎo)體/LED解決方案
等離子清洗不需化學(xué)試劑,無廢液;等離子清洗可處理金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料;
等離子設(shè)備可實現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的精細清洗;等離子體工藝易控制,可重復(fù),便于自動化。
點膠前預(yù)處理
LED封膠前處理
粘接、引線接合、成型前預(yù)處理提高附著性
改善支架電鍍效果
半導(dǎo)體/LED制造工藝當(dāng)中的產(chǎn)品表面上的有機污染物去
清除粘接工藝后的膠等有機物
去除半導(dǎo)體產(chǎn)品表面氧化膜
4.PCB制造解決方案
PCB多層板是指用于電器產(chǎn)品中的多層線路板,隨著電子產(chǎn)品更加智能化、小型化,推動了PCB工業(yè)技術(shù)的重大改革和進步,促使了PCB的設(shè)計已逐漸向多層、高密度布線的方向發(fā)展。多層印刷以其設(shè)計靈活、穩(wěn)定可靠的電氣性能和*的經(jīng)濟性能,現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于電子產(chǎn)品的生產(chǎn)制造中。
同時多層PCB板對生產(chǎn)工藝的要求不斷提高,隨著微型化趨勢發(fā)展,傳統(tǒng)技術(shù)越來越難以保證電路可靠性和產(chǎn)品質(zhì)量,尤其傳統(tǒng)濕法工藝對環(huán)境的破壞督促PCB業(yè)者采用更環(huán)保更科學(xué)的生產(chǎn)技術(shù)。
5.納米涂層解決方案
涂層極薄,以 nm 為計,通過完整的自動化功能可實現(xiàn)批量生產(chǎn)和連續(xù)的工藝流程,
具有多種選擇、低溫作業(yè)、無需溶劑等優(yōu)點,適用于單件產(chǎn)品和散裝件。
6.等離子表面刻蝕解決方案
刻蝕(Etch)是半導(dǎo)體制造、微電子IC制造以及微納制造工藝中的一個重要的步驟,是與光刻相聯(lián)的圖形化處理的主要工藝??涛g狹義理解就是光刻腐蝕,先通過光刻將光刻膠進行光刻曝光處理,然后通過其它方式進行腐蝕,處理掉所需除去的部分。廣義上來講,刻蝕是通過溶液、反應(yīng)離子或其它機械方式來剝離、去除材料的一種統(tǒng)稱,成為微加工制造的一種普適叫法。
7.等離子表面活化解決方案
高處理速度及工藝安全性
均勻的噴槍效果帶來的大工藝窗口
經(jīng)濟環(huán)保的處理工藝
無電暈效應(yīng)的處理工藝,被處理材料不接觸高壓電弧
可以通過機器人集成在生產(chǎn)線中
8.等離子表面清洗解決方案
離子清洗是利用氣體電離后產(chǎn)生的等離子體對污染表面進行物理濺射或化學(xué)反應(yīng)的作用分解污染物,分解的產(chǎn)物隨著氣流被帶離表面,從而獲取清潔干燥的表面。
- 01安全環(huán)保
- 02無任何消耗品
- 03成本低
- 04對樣品無任何損害
- 05清洗效果