UP1L研用超高純氣體純化器
委托上海正帆科技公司對(duì) GRINM-UP1L 氬氣純化器性能檢測(cè)結(jié)果
氣體類型 | H2 | O2/Ar | N2 | CH4 | CO | CO2 | H2O | 單位 |
原料氣 | 0.074 | <0.01 | 0.248 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | 未測(cè)試 | ppm |
純化后 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.033 | ppm |
部分用于現(xiàn)場(chǎng)照片：
山西中升鋼廠光譜儀配套UP10M使用現(xiàn)場(chǎng)，分析用氣體純度達(dá)到光譜儀檢測(cè)所需的綠色。
北京科技大學(xué)CVD設(shè)備用的多臺(tái)UP1L氬氣純化器
西南化工研究院定制 20MPa/30Nm3 氬氣純化器
搭載氫氣純化的電解水制氫/在線純化系統(tǒng)，用于人造鉆石生產(chǎn)高純氫場(chǎng)合
UP1L 超高純氣體純化器
產(chǎn)品參數(shù)：
l 原料氣純度要求：≥99.999%，He/Ar/H2 /N2
l 產(chǎn)品氣純度：≥99.99999%
l 產(chǎn)品氣雜質(zhì)含量：
H2O ≤5ppb
O2 ≤10ppb
N2 ≤10ppb（原料氣非 N2 ）
H2 ≤10ppb（原料氣非 H2 ）
CO ≤10ppb
CO2 ≤10ppb
CH4 ≤10ppb
NMHC ≤10ppb
l 大工作流量：1000sccm
l 內(nèi)置顆粒過(guò)濾器：2 微米
l 軟件功能：可顯示多達(dá)7種工作狀態(tài)或故障報(bào)警，并具有壽命計(jì)時(shí)及提醒功能
l 擴(kuò)展功能：多臺(tái)純化器可同一終端批量控制，也可與其他設(shè)備集成使用
l 大工作壓力：1.0MPa
l 進(jìn)出氣接口：1/8″卡套或VCR 接頭
l 純化柱及管路：EP級(jí)316不銹鋼
l 電源電壓及功率：220V，0.8kw
l 產(chǎn)品外形尺寸：170×160×320mm
