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大基片單晶圓全自動兆聲清洗機

參考價	￥ 40
訂貨量	≥1 件

具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱德國韋氏納米系統(tǒng)（香港）有限公司
品牌
型號LSC-5000LS
所在地香港特別行政區(qū)
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
更新時間2020/1/8 12:40:25
訪問次數(shù)516

產(chǎn)品標簽:

全自動兆聲清洗機性能全自動兆聲清洗機型號全自動兆聲清洗機款式全自動兆聲清洗機用途供應(yīng)全自動兆聲清洗機

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公司介紹主營產(chǎn)品

First-Nano System GmbH

2003年創(chuàng)立于德國德累斯頓工業(yè)大學(xué)（Dresden University of Technology）

2008年香港成立德國韋氏納米系統(tǒng)（香港）有限公司

2015年上海成立德國韋氏納米系統(tǒng)（香港）有限公司中國代表處，負責中國區(qū)業(yè)務(wù)

德國韋氏納米系統(tǒng)成立以來，一直為客戶想的更多，Thinking more ?。。?/p>

產(chǎn)品范圍：

薄膜沉積/Thin Film Deposition
E-Beam and Thermal Evaporation, PECVD, PLD, DLC, DC & RF Sputtering, Ion Beam Sputtering
刻蝕/Etching
RIE, DRIE, ICP, Ion Beam Milling, RIBE, Plasma, ALE
薄膜制程/Growth
ALD, PA-MOCVD, CNT, Graphene
表面處理/Surface Treatment
Ion Beam, PIII, Plasma, RTP
清洗/Cleaning
- Dry: Ion Beam, Plasma
- Wet: Megasonic, Brush, SC1, SC2, Piranha, O3DIW
其他/Other,
Device Testing System for Space Simulation, Heated Platens, Plasma Sources, Resist Stripping Systems

展開顯示更多內(nèi)容

清洗機，分析儀

產(chǎn)品簡介在線詢價

大基片單晶圓全自動兆聲清洗機技術(shù)的兆聲和清洗技術(shù)的發(fā)展，對MEMS和半導(dǎo)體等領(lǐng)域的晶圓和掩模版清洗提供了的水平，可以幫助用戶獲得zui干凈的晶圓片和掩模版。

大基片單晶圓全自動兆聲清洗機產(chǎn)品信息

技術(shù)的兆聲和清洗技術(shù)的發(fā)展，對MEMS和半導(dǎo)體等領(lǐng)域的晶圓和掩模版清洗提供了的水平，可以幫助用戶獲得zui干凈的晶圓片和掩模版。

German First Nano System提供兆聲大基片單晶圓全自動兆聲清洗機用于*的無損兆聲清洗?？梢赃m用于易受損的帶圖案或無圖案的基片，包含帶保護膜的掩模版。為了在確保不損傷基片的情況下達到*化的清洗效果，兆聲能量的密度必須保持在稍稍低于樣片上任意位置上的損傷閾值。German Fisrt Nano System 技術(shù)確保了聲波能量均勻分布到整個基片表面，通過分布能量的zui大化支持的清洗，同時保證在樣片的損傷閾值范圍內(nèi)。

LSC-5000大基片單晶圓全自動兆聲清洗機應(yīng)用：

濕法刻蝕
硅片
藍寶石片
圓框架上的芯片
顯示面板
ITO涂覆的顯示屏
帶保護膜的分劃版
掩模版空白部位
掩模版接觸部位
帶保護膜/不帶保護膜的掩模版
LSC-5000全自動兆聲大基片濕法刻蝕系統(tǒng)的特點：

支持450mm直徑的圓片或15"x15"方片
帶兆聲、DI、刷子、熱DI、高壓DI、熱氮、化學(xué)試劑滴膠臂的大腔體
帶化學(xué)試劑滴膠的刷子轉(zhuǎn)速可調(diào)節(jié)
帶LABVIEW軟件的PC全自動控制
觸摸屏用戶界面
機械手上下載片，帶EFEM以及SMIF界面
安全互鎖及警報裝置
30"D x 26"W 的占地面積

關(guān)鍵詞：芯片