氣體動態(tài)校準儀是一臺智能化在線氣體校準儀器,由流量控制系統(tǒng)、氣路控制系統(tǒng)和計算機控制系統(tǒng)組成。氣體動態(tài)校準儀與標氣、零氣發(fā)生器可組成校準系統(tǒng),通過調(diào)節(jié)稀釋比例得到一系列濃度梯度的標準氣體,用于對分析儀器進行校準。與傳統(tǒng)的校準的方式相比,實現(xiàn)了自動化操作,序列化操作,節(jié)省了時間和標氣,減少工作量。具備質(zhì)量流量控制器的流量校準功能,序列設(shè)置功能,支持與分析儀器聯(lián)動實現(xiàn)自動校準。
氣體動態(tài)校準儀報價氣體動態(tài)校準儀表格
項目 | 參數(shù) |
稀釋氣體種類 | 高純空氣、高純氮氣 |
使用壓力 | (0.1~0.3)MPa |
標氣流量范圍 | (0~100)SCCM; (0~1000)SCCM; (0~5000)SCCM,可選 |
稀釋氣流量范圍 | (0~100)SCCM; (0~1000)SCCM; (0~5000)SCCM,可選 |
流量準確度 | ±1% F.S. (10 to 100 F.S.) |
流量重復(fù)性 | ±0.2%F.S. |
稀釋比 | 根據(jù)流量計配置而定 |
標氣入口數(shù)量 | 1個 |
標氣輸出接口數(shù)量 | 1個 |
標氣輸出接口 | 1/4’’管,英制 |
電源輸入 | 220VAC,50Hz |
操作溫度 | 5 ºC~35 ºC |
工作濕度 | 5%~95% RH |
通訊 | LAN;RS232 |
儀器尺寸 (6100-01;6100-02) | (469.1×178×600)mm(W×H×D) |
重量 (6100-01;6100-02) | 12 kg |
氣體動態(tài)校準儀報價
氣體質(zhì)量流量計選型
方案 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | |
標氣質(zhì)量流量控制器量程(SCCM) | 100 | 100 | 100 | 1000 | 1000 | |
稀釋氣質(zhì)量流量控制器量程(SCCM) | 100 | 1000 | 5000 | 1000 | 5000 | |
標氣質(zhì)量流量控制器 | zui小流量(SCCM) | 10 | 10 | 10 | 100 | 100 |
zui大流量(SCCM) | 100 | 100 | 100 | 1000 | 1000 | |
稀釋氣質(zhì)量流量控制器 | zui小流量(SCCM) | 10 | 100 | 500 | 100 | 500 |
zui大流量(SCCM) | 100 | 1000 | 5000 | 1000 | 5000 | |
zui小輸出流量(SCCM) | 20 | 110 | 510 | 200 | 600 | |
zui大輸出流量(SCCM) | 200 | 1100 | 5100 | 2000 | 6000 | |
zui小稀釋比 | 1:10 | 1:1 | 5:1 | 1:10 | 1:2 | |
zui大稀釋比 | 10:1 | 100:1 | 500:1 | 10:1 | 50:1 |