產(chǎn)品簡(jiǎn)介：VTC-200P真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。VTC-200P真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)腔體不可抽真空，工作時(shí)利用真空盤吸附的方式將樣品固定在載樣盤上，該設(shè)備可儲(chǔ)存12組程序，每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段。不同運(yùn)行階段設(shè)備轉(zhuǎn)數(shù)不同，使設(shè)備緩慢提升速度*限速度，有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜，且不會(huì)過(guò)多浪費(fèi)，節(jié)約材料。腔室的上蓋可以對(duì)樣品進(jìn)行加熱（可選功能），有利于粘稠度大的薄膜材料的涂覆過(guò)程的進(jìn)行。VTC-200P真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)具有操作簡(jiǎn)單、清理方便，體積小巧等優(yōu)點(diǎn)，主要應(yīng)用于各大專院校、科研院所的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行薄膜的生成過(guò)程。
產(chǎn)品名稱 | VTC-200P真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī) | ||
產(chǎn)品型號(hào) | VTC-200P | ||
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設(shè)備配有進(jìn)出水口 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：不需要 4、工作臺(tái)：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 5、通風(fēng)裝置：需要 | ||
主要特點(diǎn) | 1、設(shè)有12組程序，每組包含6個(gè)運(yùn)行階段，每段增減速率設(shè)置范圍：100—2000rpm/s,每段時(shí)間范圍：0—60s。 2、真空吸附方式固定樣件，操作簡(jiǎn)便。 3、吸盤真空度可以達(dá)到-0.08MPa。 4、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片。 5、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤，且更換方便簡(jiǎn)單。 6、電機(jī)采用24V直流無(wú)刷電機(jī)，無(wú)級(jí)調(diào)速，可靠性高，適應(yīng)性強(qiáng)，維修與保養(yǎng)簡(jiǎn)單，噪音低，震動(dòng)小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，啟動(dòng)快速穩(wěn)定，加速后運(yùn)行平穩(wěn)，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。 7、本機(jī)可置于手套箱內(nèi)使用，但控制部分與真空泵需置于箱外。 8、可在惰性氣體氣氛（如Ar、N2）下進(jìn)行涂層。 9、采用無(wú)油雙杠真空泵，體積小巧、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作容易、維護(hù)方便、不會(huì)污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)。 10、腔體通體采用聚丙烯材質(zhì)，使用壽命更長(zhǎng)，提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開(kāi)裂性能。 11、全英文操作系統(tǒng)。 12、具有開(kāi)蓋保護(hù)功能，當(dāng)涂膜過(guò)程中或涂膜結(jié)束時(shí)打開(kāi)上蓋后機(jī)器立刻迅速減速直到停止 13、控制器采用單控制箱，液晶顯示數(shù)值，更直觀可靠。
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技術(shù)參數(shù) | 1、電源：220V 50HZ 2、電機(jī)功率：350W/24V 3、轉(zhuǎn)速：500rpm-6000rpm之間可調(diào) 4.可儲(chǔ)存12組程序，每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段， 5、每段增減速率設(shè)置范圍：100 rpm s—2000 rpm /s，每段時(shí)間范圍：0-60s 6、吸盤規(guī)格φ100mm 7、本機(jī)可選配加熱功能：加溫范圍RT-100℃ 加熱蓋，水槽及吸盤采用聚丙烯材質(zhì) 溫度單獨(dú)控制，與主機(jī)程序控制無(wú)關(guān)聯(lián) | ||
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：φ250mm×360mm；重量：20kg | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | φ100mm真空吸盤
| 1個(gè) |
2 | O型膠圈 | 1個(gè) | |
3 | 滴液器
| 1個(gè) | |
4 | 滴液器支架 | 1個(gè) | |
5 | 中心定位器
| 1個(gè) | |
6 | 無(wú)油真空泵 | 1臺(tái) | |
可選配件 | 進(jìn)口移液器
國(guó)產(chǎn)移液槍
其它尺寸的真空吸盤
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相關(guān)產(chǎn)品 | 移液器
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