日立*公司于2016年4月15日在發(fā)布了新型掃描電子顯微鏡——FlexSEM 1000。該產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，但分辨率不輸大型電鏡，同時(shí)操作極其簡(jiǎn)便，幾乎不用培訓(xùn)就可操作。緊湊型設(shè)計(jì)，分辨率為4 nm。
掃描電子顯微鏡可對(duì)材料的表面進(jìn)行高倍率觀察及高精度元素分析，在納米技術(shù)、生命科學(xué)、產(chǎn)品設(shè)計(jì)研發(fā)及失效分析等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。 近年來(lái)，掃描電鏡觀察表面精細(xì)結(jié)構(gòu)及元素分析的需求日趨增加，而越來(lái)越多的用戶希望能在生產(chǎn)線、品保檢驗(yàn)線和辦公區(qū)等有限的空間里使用掃描電子顯微鏡。因此，體積小、操作簡(jiǎn)便、分辨率高的掃描電子顯微鏡備受關(guān)注。FlexSEM 1000主機(jī)寬450mm、長(zhǎng)640mm，相比SU1510型號(hào)體積減小52%，重量減輕45%，功耗減小50%，且配備標(biāo)準(zhǔn)化的電源接口。主機(jī)與供電單元可分離，安裝非常靈活。
FlexSEM 1000采用設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和高可靠性、高靈敏度的探測(cè)器，分辨率高達(dá)4nm。FlexSEM 1000有多種自動(dòng)化功能，操作簡(jiǎn)便，即便是初次操作者也能快速拍出高質(zhì)量圖像。另外，新開發(fā)的導(dǎo)航功能「SEM MAP」可使用各種光學(xué)圖片或電鏡照片進(jìn)行導(dǎo)航，一鍵就快速精準(zhǔn)地切換至感興趣的高倍率視野。
特點(diǎn)：
a. 通過(guò)高靈敏度二次電子探測(cè)器，背散射探測(cè)器，低真空探測(cè)器（UVD*2），實(shí)現(xiàn)低加速電壓/低真空下高質(zhì)量圖像觀察
b. 操作簡(jiǎn)捷，即使新手也能拍出高質(zhì)量的圖片
c. 新開發(fā)的導(dǎo)航功能「SEM MAP」，便于快速鎖定視野
d. 大窗口（30 mm2）SDD能譜系統(tǒng)，便于快速分析元素成分*2
*1 設(shè)置在桌面時(shí)，分離主機(jī)和電源箱
*2 選配
| 項(xiàng)目 | 內(nèi)容 | |
|---|---|---|
| 分解能*3 | 4.0 nm @ 20 kV （SE：高真空模式） 15.0 nm @ 1 kV （SE：高真空模式） 5.0 nm @ 20 kV （BSE：低真空模式） | |
| 加速電壓 | 0.3 kV ～ 20 kV | |
| 放大倍率 | 6× ～ 300,000× （底片倍率） 16× ～ 800,000× （顯示倍率） | |
| 低真空模式 | 真空范圍：6 ～ 100 Pa | |
| 電子槍 | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲 | |
| 樣品臺(tái) | 3-軸自動(dòng)馬達(dá)臺(tái) X：0 ～ 40 mm, Y：0 ～ 50 mm, Z：5 ～ 15 mm R：360°, T：-15° ～ ＋90° | |
| 樣品尺寸 | 直徑80 mm | |
| 樣品高度 | 40 mm | |
| 尺寸 | 主機(jī)：450（W） x 640（D） x 670（H） mm 供電單元：450（W） x 640（D） x 450（H） mm | |
| 探測(cè)器選配 | ||
