X 射線(xiàn)光電子能譜儀是一款ESCALAB 系列產(chǎn)品。ESCALAB Xi + 基于可擴(kuò)展功能、系統(tǒng)優(yōu)化以及多分析技術(shù)的集成化平臺(tái),實(shí)現(xiàn)了高靈活性和完備的配置選項(xiàng)。前沿技術(shù)、直觀的軟件操作以及硬件配置,帶給用戶(hù)優(yōu)異的實(shí)驗(yàn)結(jié)果和生產(chǎn)力。數(shù)據(jù)系統(tǒng)提供系統(tǒng)控制、數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)處理與系統(tǒng)運(yùn)行報(bào)告等一站式服務(wù)。
分析性能
• 定量能譜成像
• 快速平行成像,分辨率優(yōu)于1µm
• 無(wú)需背底修正探測(cè)器
• 高靈敏度和能量分辨率
• 微聚焦單色源
• 元素化學(xué)成像分析
• 自動(dòng)化高效離子剖析源
• 一鍵式電荷補(bǔ)償
現(xiàn)代化操作
• 高度自動(dòng)化
– 分析區(qū)域和角度分辨可選
– 自動(dòng)化氣體調(diào)節(jié)和真空控制
• 隨時(shí)校準(zhǔn)
– 能量的刻度和傳輸函數(shù)的校準(zhǔn)
– 離子槍定位和離子束聚焦
• 鼠標(biāo)點(diǎn)擊樣品導(dǎo)航和分析設(shè)置
– 實(shí)時(shí)顯示分析位置
– 高強(qiáng)度照明
靈活的設(shè)計(jì)
• 標(biāo)配ISS和REELS功能
• 標(biāo)配多功能進(jìn)樣室
•UPS和AES/SEM/SAM/EDS功能可選
• 可選的樣品預(yù)處理附件,包括:
– 樣品斷裂臺(tái)、單晶解理、樣品刮片
– 樣品加熱/冷卻裝置
– 大面積清潔離子槍
– 高壓反應(yīng)室