一.設(shè)備簡介
半導(dǎo)體超純水設(shè)備是應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)零件清洗的超純水設(shè)備,需要符合特定的用水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn),半導(dǎo)體超純水設(shè)備出水水質(zhì)要符合美國ASTM純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)、中國電子工業(yè)電子級水質(zhì)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm)、半導(dǎo)體工業(yè)用純水指標(biāo)、集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。 榮大環(huán)保在滿足用戶用水標(biāo)準(zhǔn)的基礎(chǔ)上,在設(shè)備系統(tǒng)中水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、水泵均設(shè)有壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人職守,同時(shí)在工藝選材上采用推薦和客戶要求統(tǒng)一的方法,使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。
二.設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)及依據(jù)
1. 根據(jù)用戶提供的詳細(xì)水質(zhì)報(bào)告“量身定制”。
2. 水處理設(shè)備技術(shù)條件《JB/T 2932-1999》
3. 反滲透水處理設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)《CJ/T119-2000》
4. 低壓開關(guān)設(shè)備和控制設(shè)備成套裝置《IEC439-1 》
5. 實(shí)驗(yàn)室超純水技術(shù)指標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)《GB6682-2008 》
6. 國家電子級超純水規(guī)格《GB/T11446.1-1997》
三.工藝流程
1、 原水-原水加壓泵-多介質(zhì)過濾器-活性炭過濾器-軟水器-精密過濾器-級反滲透-PH調(diào)節(jié)-中間水箱-第二級反滲透-純化水箱-純水泵-EDI系統(tǒng)-超純水箱-純水泵-拋光裝置-終端超濾-用水點(diǎn)
四.設(shè)計(jì)特點(diǎn)
1. 系統(tǒng)采用全自動(dòng)控制(同時(shí)亦可采用手動(dòng)控制),系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)可設(shè)定自動(dòng)反洗、再生程序;
2. 各單元接線均在工廠內(nèi)統(tǒng)一完成,減少安裝調(diào)試時(shí)間;
3. 一級反滲透和二級反滲透設(shè)有回流管道,反滲透設(shè)備設(shè)有化學(xué)清洗裝置;
4. 管道一般采用UPVC材質(zhì);
5. 集成控制系統(tǒng)和集成儀表系統(tǒng)等,方便操作管理;
6. RO膜定時(shí)清洗 具有開機(jī)和定時(shí)清洗RO膜功能,延長RO膜使用壽命;
7. 水回收率 通過特殊的工藝設(shè)計(jì),大幅提高了設(shè)備的回收率,可達(dá)70%;
8. 設(shè)備具有耗材更換自動(dòng)提示功能,并且耗材的更換周期取決于水質(zhì)和壓力的變化,而非根據(jù)耗材的使用時(shí)間,考慮到了各地水質(zhì)的差異,設(shè)計(jì)更科學(xué);
9. 自我保護(hù)功能 源水缺水自動(dòng)停機(jī)保護(hù)功能同時(shí)具有水箱缺水自動(dòng)產(chǎn)水、滿水自動(dòng)停機(jī)功能。