氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)采用PLC控制,先對被檢工件抽空到設定的真空度,然后切換到檢漏狀態(tài),對工件噴氦檢漏,用檢漏儀檢測工件的漏率。整個系統(tǒng)確保檢測精度高、檢測效率高、長期可靠、安全使用。真空壓力變化、漏率變化等都可以在觸摸屏上顯示,閥門等能通過觸摸屏操作。
本裝置包括氦質(zhì)譜檢漏儀及多工位真空排氣兩大部分。真空排氣作為整個檢漏系統(tǒng)的預抽真空泵組,系統(tǒng)通過真空閥門切換進行分時抽空檢測。從而實現(xiàn)縮短檢測周期,提高設備使用效率。