電子廠房?jī)艋?chē)間
光學(xué)微電子凈化工程亦名無(wú)塵室或清凈室，目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)*的重要設(shè)施。近幾年來(lái)，由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展，對(duì)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國(guó)在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目，而我公司的設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于地位。
光學(xué)微電子凈化工程一般包括：
1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)
2、 潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）
3、 管理區(qū)（包括辦公、值班、管理和休息等）
4、 設(shè)備區(qū)（包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房）
光學(xué)微電子凈化工程凈化原理
氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌
等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過(guò)程，即可達(dá)到凈化目的。
光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料
1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻 角、門(mén)、窗框等一般采用專(zhuān)用氧化鋁型材制造。
2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級(jí)耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。
3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。
光學(xué)微電子凈化工程凈化參數(shù)
換氣次數(shù)：100000級(jí)≥15次；10000級(jí)≥20次；1000≥30次。壓差：主車(chē)間對(duì)相鄰房間≥5Pa
平均風(fēng)速：10級(jí)、100級(jí)0.3－0.5m/s；溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動(dòng)±2℃。
溫度45－65％；GMP粉劑車(chē)間濕度在50％左右為宜；電子車(chē)間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
噪聲≤65dB（A）；新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10％－30％；照度300LX。
凈化等級(jí)說(shuō)明：
1級(jí) 這個(gè)級(jí)別的無(wú)塵車(chē)間主要用于制造集成電路的微電子工 業(yè)，對(duì)集成電路的精確要求為亞微米。
10級(jí) 這個(gè)級(jí)別的無(wú)塵車(chē)間主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。
100級(jí) 很多人認(rèn)為，這一級(jí)無(wú)塵車(chē)間是因而是最重要的無(wú)塵車(chē)間，人們常常錯(cuò)誤地將100級(jí)潔凈室稱(chēng)為無(wú)菌室，以說(shuō)明“無(wú)菌”的或“無(wú)塵”的環(huán)境要求，100級(jí)無(wú)塵室可用于醫(yī)藥工業(yè)的無(wú)菌制造工藝等，這一潔凈室大量應(yīng)用于，植如體內(nèi)物包括移植手術(shù)，集成器的制造，那些對(duì)細(xì)菌感染特別敏感的病人的隔離治療，比如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離治療。
1000級(jí) 這個(gè)級(jí)別的無(wú)塵車(chē)間主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn)，還用于測(cè)試，裝配飛機(jī)蛇螺儀，裝配高質(zhì)微型軸承等。
10000級(jí) 萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配，某些情況下也用于食品飲料工業(yè)，此外，萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間在醫(yī)工業(yè)中也很常用。
100000級(jí) 十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間用于很多的工業(yè)部門(mén)，比如光學(xué)產(chǎn)品的制造，用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng)，液壓或氣壓系統(tǒng)的制造，食品飲料的生產(chǎn)，醫(yī)、藥工業(yè)也常常使用這一級(jí)無(wú)塵車(chē)間。
潔凈室（區(qū)）空氣潔凈級(jí)別表
潔凈度級(jí)別 | 塵粒允許數(shù)/立方米 ≥0.5μm塵粒數(shù) | ≥5μm塵粒數(shù) | 微生物允許數(shù) 浮游菌/立方米 | 沉降菌/皿 |
100級(jí) | 3,500 | 0 | 5 | 1 |
10,000級(jí) | 350，000 | 2，000 | 100 | 3 |
100，000級(jí) | 3，500，000 | 20，000 | 500 | 10 |
300，000級(jí) | 10，500，000 | 60，000 | 1000 | 15 |
ISO14644-1（國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)）
空氣潔凈 度等級(jí)(N) | 大于或等于所標(biāo)粒徑的粒子濃度限值（個(gè)/每立方米空氣粒子） | |||||
0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1.0um | 5.0um | |
ISO Class1 | 10 | 2 | ||||
ISO Class2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
ISO Class3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
ISO Class4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | |
ISO Class5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 |
ISO Class6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
ISO Class7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | |||
ISO Class8 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | |||
ISO Class9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 | |||
注：由于涉及測(cè)量過(guò)程的不確定性，故要求用不超過(guò)三個(gè)有效的濃度數(shù)字來(lái)確定等級(jí)水平 | ||||||
潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級(jí)
空氣潔凈度等級(jí)[1](N) | 大于或等于表中粒徑的濃度限值(pc/m) | |||||
0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1um | 5um | |
1 | 10 | 2 | ||||
2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
4（十級(jí)） | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | |
5（百級(jí)） | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
6（千級(jí)） | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
7（萬(wàn)級(jí)） | 352000 | 83200 | 2930 | |||
8（十萬(wàn)級(jí)） | 3520000 | 832000 | 29300 | |||
9（一） | 8320000 | 293000 | ||||
