一、操作便捷性：
1、方便的氣路快速連接口，簡(jiǎn)化了流量控制系統(tǒng)與其他設(shè)備的鏈接。
2、配置有三種接口（寶塔式接口、雙卡套式接口、KF接口），方便組合多種連接方式。
二、控制智能化：
采用數(shù)顯流量顯示儀，配合質(zhì)量流量控制器，采集數(shù)據(jù)并控制流量。具有控制精度高，重復(fù)性好，響應(yīng)速度快，穩(wěn)定可靠等特點(diǎn)（氣體質(zhì)量流量控制器） 。
三、使用安全性：
1、采用單向閥技術(shù)，使氣體流量在可控壓力范圍內(nèi)控制，保證安全。
2、采用混氣灌裝置，使氣體可以在充分混合后導(dǎo)入工作室內(nèi)，確保不會(huì)泄漏。
四、周邊拓展性：
1、該氣體質(zhì)量控制系統(tǒng)可配我公司生產(chǎn)的真空/氣氛管式電爐及真空/氣氛箱式電爐使用。
2、該氣體流量控制系統(tǒng)可以與我公司生產(chǎn)的真空控制系統(tǒng)組合使用。
3、可為用戶定制多路氣路產(chǎn)品。
規(guī)格 | 產(chǎn)品型號(hào) | 氣路數(shù)量 | 流量控制方式 | 連接方式 | 流量計(jì) | 流量范圍 | 精度 | 響應(yīng)時(shí)間 | 工作溫度 | 工作壓力 | 外形尺寸mm | 重量 | 標(biāo)準(zhǔn)配件 |
質(zhì)量流量 | ZL-02H | 兩路 | 數(shù)顯流量控制儀 | 雙卡套接頭 | 質(zhì)量流量計(jì) | 0-500sccm(標(biāo)準(zhǔn)毫升/分）氮?dú)鈽?biāo)定 | ±1%F.S | ≤4sec | 5-45℃ | 進(jìn)氣壓力0.05-0.3Mpa | 530x670x710 | 48kg | PUΦ6管/每路2米Φ4*15mm不銹鋼襯管5個(gè) |
ZL-03H | 三路 | ||||||||||||
ZL-04H | 四路 |
