ROSI600系列氧分析儀對硅領域的分析的低靈敏度和高精度的要求。用固態(tài)紅外檢測系統(tǒng)靈敏度與我們全新設計的進樣系統(tǒng)和可編程脈沖爐相結合。提供準確和精確的氧含量的結果,比如硅片材料中氧的分析結果,低靈敏度和高精度也被應用到其他金屬工業(yè)。
ROSI600系列氧分析儀特征
1、非色散固態(tài)紅外檢測器,高精度,高分辨率;
2、可編程通過功率及電流控制的脈沖電極爐;
3、分析精度及準確度精確至ppm級別;
4、低空白值,配置適合硅片進樣的進樣口;
5、配置具有安全保護性能的試劑容器;
6、儀器全新的氣路設計需要更少的維修;
7、氧含量輸入采用ppma格式;
8、Windows@ 操作系統(tǒng)。
ROSI600系列氧分析儀產(chǎn)品特點
試樣的進樣系統(tǒng)設計可連續(xù)樣品加載,低大氣空白和高載氣純度。在進樣系統(tǒng)的滑槽式的設計中,硅片可連續(xù)進樣。雙密封,磁加載機械機構以及集成的氧/水氣捕集器,使得進樣系統(tǒng)實現(xiàn)零大氣污染,并保持更好的載氣氣體的純度。
ROSI600系列氧分析儀型號
ROSi600 氧分析儀配置電腦及平板顯示器和Windows操作系統(tǒng)
可選件
1、Smartline? Remote 遠程診斷
2、消耗品
3、自動清掃及自動進樣系統(tǒng)
應用
ROSi600 樣本