上海百級(jí)潔凈烘箱：
光刻工藝的八道工序?yàn)椋壕A清洗、預(yù)烘培和底漆涂敷、光刻膠自旋涂敷、軟烘烤、對(duì)準(zhǔn)和曝光、曝光后烘烤，以及顯影、硬烘烤和圖形檢測(cè)，然而工藝中的烘烤步驟需要百級(jí)潔凈烘箱來完成。百級(jí)潔凈烘箱也應(yīng)用于精密電子元件、高溫烘烤、堅(jiān)膜烘烤、半導(dǎo)體元件封裝、治具干燥、銀膠固化、晶圓退火、芯片高溫測(cè)試、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).
上海百級(jí)潔凈烘箱技術(shù)性能：
無塵等級(jí)：Class 100;
溫度范圍： RT+20～250/ 350/500℃；
溫度均勻度：±2%℃;
溫度波動(dòng)度：±1℃
溫控精度：±0.1℃;
工作尺寸：350*350*350,450*450*450*,500*500*500,600×600×500，多尺寸定制
百級(jí)潔凈烘箱操作界面
采用液晶觸摸屏溫度控制器，內(nèi)置曲線查詢、
PID自整定、高溫上限報(bào)警、
運(yùn)行方式：定值、程式
語言：中、英文
智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）用途：
將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?/span>其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。
智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）特點(diǎn)：
HMDS 藥液泄漏報(bào)警提示功能
HMDS低液位報(bào)警提示功能
工藝數(shù)據(jù)記錄功能
藥液管道預(yù)熱功能
程序鎖定保護(hù)等功能
智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）技術(shù)性能：
1.尺寸（深*寬*高）
內(nèi)腔尺寸：450×450×450（mm）（可定制）
2. 材質(zhì)
外箱采用冷軋板噴塑，內(nèi)箱采用 316L 醫(yī)用級(jí)不銹鋼
3.溫度范圍
RT+50-250℃
4.溫度分辨率
0.1℃
5.溫度波動(dòng)度
≤±0.5
6 真空度
≤133pa（1torr）
7.電源及總功率
AC 220V±10% / 50HZ，總功率約 3.5KW
8.控制儀表
人機(jī)界面
9.擱板層數(shù)
2 層
10.HMDS控制
可控制HMDS 藥液添加量
11.真空泵
無油渦旋真空泵
