產品特性優(yōu)點
1:內部緊湊設計,縮小了設備的尺寸
2: 采用7英寸觸摸屏控制面板,操作更加便捷
3:采用“密閉碗”設計,可以適應各種材料的勻膠工藝。
4:標準配置的轉速為10000rpm,可以根據用戶需要進行定制
5:采用工業(yè)級的伺服電機,電機*的設計可以避免光刻膠等污染物進入電機內部
6:機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,生銹,便于清洗。
7:排風和抽氣系統(tǒng)位于載片臺的底部,利于排風效率和勻膠的均一性
8:透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時隔絕光阻的溢出及有效有毒氣味的散發(fā)。
產品參數
轉速范圍:20-5000rpm,10000rpm可選
轉速分辨率:±1rpm
加速度可調范圍:20-10000rpm/s
單步時長:3000s
時間分辨率:0.1s
涂膠均勻性:≤±3%
可編程100組100步程序,更多可擴展
帶四路自動點膠端口,可升級多路自動點膠功能
可配6寸,8寸鋁合金真空載物盤,特殊規(guī)格需定制
外型尺寸:515mm(W)*750mm(D)*410mm(H)