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濕敏薄膜專(zhuān)用高溫?zé)o氧烘箱-工業(yè)烘箱

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng)上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司
  • 品       牌雋思
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間2022/5/28 11:40:18
  • 訪問(wèn)次數(shù)1396
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上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“雋思儀器”)是一家專(zhuān)業(yè)從事儀器設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售及服務(wù)的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導(dǎo)體工藝設(shè)備、環(huán)境模擬儀器設(shè)備、線纜試驗(yàn)機(jī)、橡塑試驗(yàn)檢測(cè)設(shè)備、黑蒜設(shè)備等的高新技術(shù)型企業(yè),具有很強(qiáng)的自主開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè),建筑,節(jié)能等行業(yè);多年來(lái),公司以“真摯的服務(wù)、優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)”為宗旨,為國(guó)內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務(wù)。贏得了國(guó)內(nèi)外客戶的*好評(píng),更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精,更完善!
 雋思儀器主要業(yè)務(wù)有HMDS預(yù)處理系統(tǒng),HMDS烘箱,潔凈烤箱,百級(jí)潔凈烘箱,氮?dú)夂嫦?,高溫?zé)o氧烘箱,真空無(wú)氧烘箱,無(wú)塵無(wú)氧化烘箱,抗粘劑涂膠機(jī),精密恒溫加熱臺(tái),快速高低溫氣流儀,超低溫試驗(yàn)箱高低溫試驗(yàn)箱,高低溫交變濕熱箱定做,HMDS真空涂膠烘箱,低溫脆性檢測(cè)儀,黑蒜發(fā)酵設(shè)備,導(dǎo)體直流電阻測(cè)試儀,電線電纜檢測(cè)儀器,真空烘箱,黑蒜試驗(yàn)機(jī),橡塑檢測(cè)試驗(yàn)機(jī)等。
    不斷追求技術(shù)進(jìn)步、提升專(zhuān)業(yè)服務(wù)能力,做一個(gè)專(zhuān)業(yè)的儀器設(shè)備供應(yīng)商是我們的發(fā)展目標(biāo)。企業(yè)內(nèi)部實(shí)施了CRM、ERP項(xiàng)目管理,在產(chǎn)品開(kāi)發(fā)、質(zhì)量控制、集成供應(yīng)鏈、人力資源管理、財(cái)務(wù)管理等諸多方面取得了長(zhǎng)足發(fā)展。同時(shí)建立了標(biāo)準(zhǔn)化的服務(wù)流程,形成了覆蓋全國(guó)的快速服務(wù)網(wǎng)絡(luò),以盡心盡責(zé)的服務(wù)理念和完備的技術(shù)得到用戶的*稱(chēng)贊。我們將珍視每一次與您合做的機(jī)會(huì),以飽滿的熱情、真誠(chéng)的服務(wù)與您共創(chuàng)燦爛的未來(lái)!





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材質(zhì) 304 工作室尺寸 500mm
加工定制 類(lèi)型 鼓風(fēng)
適用范圍 半導(dǎo)體 溫度范圍 450℃
濕敏薄膜專(zhuān)用高溫?zé)o氧烘箱將基底溶液聚酰胺酸懸涂在制備有犧牲層的載體硅片上,采用MEMS工藝制作濕度敏感單元,本文制作的濕度傳感器采用“三明治”結(jié)構(gòu),包括上電極、感濕層和下電極,上下電極均采用蒸鍍工藝,蒸鍍金作為電極;感濕膜為聚酰亞胺材料,采用旋涂的方法制備感濕層
濕敏薄膜專(zhuān)用高溫?zé)o氧烘箱-工業(yè)烘箱 產(chǎn)品信息

濕敏薄膜專(zhuān)用高溫?zé)o氧烘箱

  在聚酰亞胺(polymide, PI)柔性襯底上制作濕度傳感器,PI是常見(jiàn)的柔性傳感器基底材料,具有化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、耐高溫、與電極材料結(jié)合力好的優(yōu)點(diǎn)。加工方法為將基底溶液聚酰胺酸懸涂在制備有犧牲層的載體硅片上,采用MEMS工藝制作濕度敏感單元,本文制作的濕度傳感器采用“三明治”結(jié)構(gòu),包括上電極、感濕層和下電極,上下電極均采用蒸鍍工藝,蒸鍍金作為電極;感濕膜為聚酰亞胺材料,采用旋涂的方法制備感濕層。

  濕敏薄膜制作:將合成的聚酰亞胺前軀體聚酰胺酸旋涂在基底上,放入高溫?zé)o氧烘箱中,100℃保溫30min,以5℃/min的升溫速度升至150-180℃,保溫30min;再以5℃/min的升溫速度升至220-250℃保溫30min,再以5℃/min的升溫速度升至280-300℃保溫1 h最后升至350-380℃保溫1 h,再以3-8℃/min的降溫速度降至50-100℃完成聚酰亞胺濕敏材料的固化,濕敏膜厚度2μm.

濕敏薄膜專(zhuān)用高溫?zé)o氧烘箱

工作室尺寸:W500mm×500mm×H500mm.可定制 

溫度范圍:RT+50~450℃  

分辨率:0.1℃

波動(dòng)度:≤±1℃

溫度均勻度:≤±1.5%℃ 

潔凈度:Class100/class1000

升溫速率:1~10℃/min

降溫速率:高溫降溫至80度平均約4.0℃/min 

氧含量:≤20ppm  

操作方式:人機(jī)界面+PLC,程式工藝一鍵運(yùn)行,可保存多個(gè)工藝


上海雋思專(zhuān)業(yè)提供烘烤制程設(shè)備、溫度檢測(cè)儀器HMDS烘箱,智能型HMDS真空系統(tǒng),抗粘劑涂膠機(jī),高精度恒溫加熱臺(tái),高溫?zé)o氧烘箱,PI烤箱,氮?dú)夂嫦?,MSD烘箱,低溫低濕烘箱, 潔凈烘箱,無(wú)塵烘箱,高溫?zé)o塵無(wú)氧烘箱,真空無(wú)氧烤箱,等離子清洗機(jī),RTP快速退火爐,桌上型高低溫試驗(yàn)箱,高低溫沖擊試驗(yàn)箱,恒溫恒濕試驗(yàn)箱,超低溫試驗(yàn)箱等設(shè)備。

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