應(yīng)用領(lǐng)域:
廣泛用于超LSI制造工廠、半導(dǎo)體制造工廠、原子力研究中心、無塵室、超凈實(shí)驗(yàn)室、超凈工作臺(tái)等其他要求超高潔凈度的場(chǎng)合
設(shè)計(jì)特點(diǎn):
1、 主要用于過濾0.12um以上的空氣懸浮顆粒,作為十級(jí)與一級(jí)過濾系統(tǒng)的末端過濾
2、 濾料采用美國HV超細(xì)玻璃纖維濾紙制成,以熱熔膠為分隔
3、 此設(shè)計(jì)降低了運(yùn)行成本,無隔板的熱塑性隔膠可以確保相同褶層間距,保證了氣流通過,達(dá)到高容塵量,充分利用了過濾器整個(gè)深度的濾料
4、 外框采用經(jīng)陽極處理增加強(qiáng)硬度及耐久的防腐性
5、 過濾器四周均用特殊密合劑密封,確保整個(gè)過濾器的密封性
6、 在過濾器進(jìn)、出風(fēng)面加裝噴塑護(hù)網(wǎng),以保護(hù)濾紙不被損壞
7、 每臺(tái)過濾器均經(jīng)嚴(yán)格測(cè)試
8、 過濾效率等級(jí):U15、U16、U17(EN1822)
性能特點(diǎn):
1、 效率高、阻力低、容塵量高
2、 重量輕、厚度薄
3、 安裝方便、運(yùn)行成本低
濾料 | U15-U17美國HV玻纖濾紙 |
密封膠 | PU雙組份聚氨脂膠、熱熔膠 |
框材 | 鋁型材框、鋁板折框、鍍鋅框、不銹鋼框、塑膠框 |
防護(hù)網(wǎng) | 噴塑菱形網(wǎng) |
分隔物 | EVA熱熔膠 |
密封膠條 | EVA、氯丁橡膠、PU聚氨脂發(fā)泡膠 |
過濾效率 | U15:99.9995%@0.12μm U16:99.99995%@0.12μm U17:99.999995%@0.12μm |
使用溫度 | 70℃ |
使用濕度 | 99% |
規(guī)格尺寸 (W×H×D) | 風(fēng)量 (m3/h) | 容塵量 (g) | 過濾面積 (m2) | 初阻力 (pa) | 終阻力 (pa) | 過濾效率 |
610×610×50 | 450 | 570 | 7.13 | 180±10 | 400~600 | U15~U17 |
610×610×69 | 600 | 830 | 10.37 |
1170×570×69 | 1100 | 1460 | 18.28 |
1220×610×69 | 1200 | 1640 | 20.41 |