旋轉(zhuǎn)涂層機/勻膠機/勻膠儀旋涂儀/甩膠機/旋涂機 型號:ZRX-26227
產(chǎn)品簡介:ZRX-26227勻膠儀旋涂儀
主要用于液體,膠體在材料表面形成薄膜。
ZRX-26227勻膠機旋涂儀 適用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷,不銹鋼,金屬等制版表面涂覆工藝。
ZRX-26227勻膠機旋涂儀 可在科研,教育,生產(chǎn)中應(yīng)用。
ZRX-26227勻膠機
ZRX-26227勻膠機: 工作腔內(nèi)徑D290mm 適合直徑D10mm-280mm園片及 200mmX200mm方形片。
*ZRX-26227高性能勻膠機旋涂儀26程序控制器:
可設(shè)定存儲26個不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過程;
每個涂敷工藝過程可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài);
加速度(及負(fù)加速度)。
中英文兩套操作系統(tǒng)供選擇。
操作系統(tǒng)內(nèi)駐留涂敷工藝過程模板程序,方便快速調(diào)試并存儲程序。
設(shè)置程序:6鍵操作,人機交互式對話,提示操作。
*ZRX-26227勻膠機旋涂儀 可連接滴膠機,自動控制在必要的瞬間滴膠,自動控制重復(fù)定量滴膠。
*ZRX-26227勻膠機旋涂儀 工作腔可氮氣保護。
對所有的環(huán)境變量(溫度,濕度,潔凈度)有效控制,
*ZRX-26227高性能勻膠機旋涂儀 真空吸片,爪卡機構(gòu)。2種工作狀態(tài)隨意選擇。 爪卡機構(gòu)工作狀態(tài)無需真空泵。方便有空隙的材料及厚重材料涂膠。
*ZRX-26227勻膠機旋涂儀 中心結(jié)構(gòu)定位:圓形基片使用工具完成中心定位。方便快捷,定位
一片真空吸盤即可滿足(ZRX-26227適用3英寸-11英寸基片);(TA-360適用3英寸-14英寸基片)。
小于3英寸可使用定制真空吸盤。
*ZRX-26227勻膠機旋涂儀 卡盤,吸盤品種豐富,適應(yīng)各種需要。
*ZRX-26227勻膠機旋涂儀 真空吸片系統(tǒng)更安全:
安裝有真空度傳感器,涂敷工作過程電腦實時檢測系統(tǒng)真空度,必須在安全的真空度下,
電機啟動,運行。保障可靠吸片,不飛片。運行中失去真空,系統(tǒng)保護性停機。
*ZRX-26227勻膠機旋涂儀 伺服電機,轉(zhuǎn)速精度更高:300 - 10000 轉(zhuǎn)/分,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:+ - 0.1 % 高轉(zhuǎn)速10000轉(zhuǎn)/分
單相交流電源:220V.50Hz
電機功率:200W
轉(zhuǎn)數(shù):300 - 10000 轉(zhuǎn)/分。
可設(shè)定時間:1---9999秒。
尺寸: 490mm寬 x 380mm深 x 310 mm高
中心定位
利用中心定位板,將基片在機器轉(zhuǎn)軸中心定位。
中心定位板的孔位可以完成4,6,8,10英寸基片定位。完成勻膠。