旋轉(zhuǎn)涂層機/勻膠機/旋轉(zhuǎn)涂儀 型號:ZRX-26230
旋轉(zhuǎn)涂層機勻膠機
主要用于液體,膠體在材料表面形成薄膜。
適用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷,不銹鋼,金屬等制版表面涂覆工藝。
ZRX-26230勻膠機 工作主機獨立,控制器分置。
ZRX-26230勻膠機: 工作腔內(nèi)徑D290mm 適合直徑D10mm-280mm園片及 200mmX200mm方形片。
*旋轉(zhuǎn)涂層機勻膠機程序控制器:
可設定存儲26個不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過程;
每個涂敷工藝過程可以設置51步不同的速度狀態(tài);
加速度(及負加速度),可設置。
中英文兩套操作系統(tǒng)供選擇。
操作系統(tǒng)內(nèi)駐留涂敷工藝過程模板程序,方便快速調(diào)試并存儲程序。
設置程序:標準通用符號,6鍵操作,人機交互式對話,提示操作。
無需培訓,上手就會操作。
*可連接滴膠機,自動控制在必要的瞬間滴膠,自動控制重復定量滴膠。
自動控制操作。
*工作腔可氮氣保護。
設過有效的惰性氣體保護機構,對所有的環(huán)境變量(溫度,濕度,潔凈度)有效控制,
*真空吸片,爪卡機構。2種工作狀態(tài)隨意選擇。 爪卡機構工作狀態(tài)無需真空泵。方便有空隙的材料及厚重材料涂膠。
*中心結(jié)構定位:圓形基片使用工具完成中心定位。方便快捷,定位精度高。
主機標準配備一片真空吸盤即可滿足(TA-280適用3英寸-11英寸基片);(TA-360適用3英寸-14英寸基片)。
小于3英寸可使用定制真空吸盤。
*卡盤,吸盤品種豐富,適應各種需要。
*真空吸片系統(tǒng)更安全:
安裝有真空度傳感器,涂敷工作過程電腦實時檢測系統(tǒng)真空度,必須在安全的真空度下,
電機啟動,運行。保障可靠吸片,不飛片。運行中失去真空,系統(tǒng)保護性停機。
*伺服電機,轉(zhuǎn)速精度更高:300 - 10000 轉(zhuǎn)/分,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:+ - 0.1 % 轉(zhuǎn)速10000轉(zhuǎn)/分
*所用的天然聚丙烯(NPP)材質(zhì),清潔。
單相交流電源:220V.50Hz
電機功率:200W
轉(zhuǎn)數(shù):300 - 10000 轉(zhuǎn)/分。
可設定時間:1---9999秒。尺寸: 490mm寬 x 400mm深 x 300 mm高 ,