Profilm 3D是一款兼具垂直掃描干涉 (VSI)和高精確度相移干涉 (PSI) 技術(shù)的經(jīng)濟(jì)型光學(xué)輪廓儀,其可以用于多種用途的高精度表面測量。
Profilm 3D光學(xué)輪廓儀具有以下優(yōu)點(diǎn):
? 價(jià)格優(yōu)勢:市場上性價(jià)比的白光干涉輪廓儀,價(jià)格優(yōu)勢的高精度輪廓儀。
? 快速測量大面積區(qū)域:測量范圍為毫米級別,配置XY樣品臺(tái)達(dá)100mm*100mm,可實(shí)現(xiàn)大面積樣品的輕松測量;
? 簡單易用:只需將樣品放置于樣品臺(tái)上,即可直接進(jìn)行測量;
? 可以測量非接觸式非平坦樣品:由于光學(xué)輪廓測量法是一種非接觸式技術(shù),可以輕松測量彎曲和其他非平面表面。還輕松地測量曲面的表面光潔度,紋理和粗糙度。除此之外,作為一種非接觸式方法光學(xué)輪廓儀不會(huì)像探針式輪廓儀那樣損壞柔軟的薄膜。
? 無需更換耗材:只需要一個(gè)LED光源,無需其他配件更換;
? 可視化3D功能:Profilm 3D輪廓儀具有強(qiáng)大的處理軟件,軟件除包括表面粗糙度,形狀和臺(tái)階高度的測量外,還可以任意角度移動(dòng)樣品量測三維圖形,多角度分析樣品圖像。
適用于各類樣品:Profilm 3D輪廓儀適用于各類金屬、非晶硅和多晶硅、陶瓷材料、電介質(zhì)、硬質(zhì)涂層、高分子聚合物、光刻膠等的表面輪廓及粗糙度等測量。
Profilm 3D光學(xué)輪廓儀功能:
? 用于測量粗糙度
使用Profilm 3D輪廓儀可以以秒為單位測量表面紋理,光潔度和粗糙度,只需單擊鼠標(biāo)即可完成。Profilm3D采用白光干涉測量(WLI)和相移干涉測量(PSI)等行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)技術(shù),可快速測量大面積2D區(qū)域的粗糙度和紋理,無需接觸樣品。
? 測量曲面樣品
由于Profilm 3D是一種非接觸式技術(shù),因此可以輕松測量彎曲和其他非平面表面。另外在測量方法中添加形狀去除(也稱為形狀去除)和過濾,即可輕松實(shí)現(xiàn)表面光潔度,紋理和粗糙度的測量!
? 任何粗糙度參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)
Profilm 3D擁有47個(gè)ASME / EUR / ISO粗糙度參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)??梢栽诮Y(jié)果中顯示其中的任何一個(gè)或全部,從而使自定義報(bào)告變得輕而易舉。符合ISO 9000和ASME B46.1標(biāo)準(zhǔn),ISO現(xiàn)在*支持測量表面粗糙度的光學(xué)方法。特別是,ISO 25178第604部分描述了Profilm3D的WLI方法(其中也稱為相干掃描干涉測量法)。
二、主要功能
主要應(yīng)用
臺(tái)階高度
表面粗糙度
線寬及輪廓
技術(shù)能力
厚度范圍,VSI 50nm-100mm
厚度范圍,PSI 0-3 µm
樣品反射率范圍 0.05%-99%
Piezo范圍 500 µm
XY平臺(tái)范圍100mm x 100mm
三、應(yīng)用
臺(tái)階高度、表面形貌、表面粗糙度、大面積拼接等