1179A00412CR1BV流量計(jì)氣體流量控制器MKS
深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司
1179A
流量比例控制器(通用型)
1179A是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器,可在多種應(yīng)用場(chǎng)合測(cè)量和控制氣體的流量,特別是可重復(fù)性要求高的場(chǎng)合。配上合適的壓力控制器,它還可以作為壓力控制器使用。對(duì)于當(dāng)今市場(chǎng)上的質(zhì)量流量控制器,1179A可作為直接替代的產(chǎn)品,標(biāo)準(zhǔn)的3英寸底座使1179能夠直接進(jìn)行安裝而無需改變現(xiàn)有的氣體管道。它具有數(shù)字和模擬兩種模式,其為全量程的1%。技術(shù)參數(shù):全量程:10SCCM,20SCCM,50SCCM,100SCCM,200SCCM,500SCCM,1000SCCM,2000SCCM,5000SCCM,10000SCCM,20000SCCM??刂屏砍蹋?% to 99%的全量程。測(cè)量:全量程的1%靈敏度:全量程的0.1%熱機(jī)時(shí)間:小于2Min.響應(yīng)速度:小于2Sec.輸入電壓:±15VDC@100ma輸出電壓:0-5VDC連接器:模擬:9Pin或15Pin或20Pin Card edge. 數(shù)字:RS485或Device net或Profibus法蘭接口:Swagelok 4VCR,Swagelok4 VCO,Swage 1/4”等材質(zhì):316不銹鋼。質(zhì)保期:有限保修自售出之日起12個(gè)月