本設備是一款面積式流量計,通過自主研發(fā)的精密成型玻璃管和超精密球浮標,將“以流量計為標準”這一普遍的概念推向“精密儀器”領域。
- 可實現(xiàn)超微小流量范圍內的測量
支持0.5ML/MIN~3ML/MIN的超微小流量到3~30L/MIN的廣泛流量范圍。 - 可進行高精度測量
標準條件下滿量程±2%、可選條件下滿量程±1%的高精度流量計。 - 種類豐富
我們準備了許多產品,全長、材質、流量、壓力、刻度等,以支持各種用途。 - 可進行各種氣體測量
幾乎所有氣體都能支持,不僅是標準氣體(AIR、N2、O2、H2、He、Ar、CO2)。 - 還可提供水流量計
可制作滿量程流量、1L/MIN以下范圍的水流量計。
(由于流量不同,尺寸等可能會與圖上所示不一致。)
用途
- 用于整合設備
- 用于實驗室的流量檢查
- 用于半導體相關設備
- 用于生物領域
使用示例
尺寸圖
標準規(guī)格
氣體 | 流體 | ||
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流體名稱 | Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2(實際氣體校準) 其他氣體轉換校準,實際氣體校準單獨咨詢 ※選項:2種流體刻度 | 標準液體(H2O) 其他液體轉換校準 (但是,會產生與實際液體的誤差。) | |
流量范圍 | 0.5~5ML/MIN到3~30L/MIN(參見容量列表) ※可選:0.5~3ML/MIN
| 0.5~5ML/MIN到0.1~1L/MIN(參見容量列表) ※可選:0.5~3ML/MIN | |
精度 | FS±2%(測量點)※可選:FS±1%(測量點) | FS±2%(測量點) | |
耐壓 | 100ML/MIN以下:1.0MPa 5L/MIN以下:0.7MPa 10L/MIN以上:0.5MPa | 5ML/MIN以下:1.0MPa 150ML/MIN以下:0.7MPa 200ML/MIN以上:0.5MPa | |
有效刻度 | 10:1 ※可選 20:1 |
材質 | SS制 | BS制 | |
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主體區(qū)塊 | SUS316 | 黃銅 | |
錐形管 | 硬玻璃 | ||
密封材料 | 氟橡膠 | NBR | |
浮標 | 硬質玻璃,SUS316 | ||
保護罩 | 丙烯 | ||
使用溫度 | 60℃ | ||
連接端口 | 1 / 4F 900(標準) |
容量列表
可選規(guī)格
- F.S.±1%(測量點)
- 0.5~3ML/MIN Air(大氣壓)規(guī)格
注)全長僅為126mm。 - 全氟醚橡膠0型圈規(guī)格
注)氣體1L/MIN以下無過濾器。 - 雙刻度規(guī)格
- 20:1刻度規(guī)格