產(chǎn)品簡介:DX-7系晶棒及晶片角度測量儀是雙側(cè)工作臺(tái),可同時(shí)進(jìn)行操作,用于對晶棒及晶片的角度進(jìn)行測量。
DX-7系列晶棒、晶片角度測量儀參數(shù)對比表
型 號(hào) | DX-7B | DX-7BG | ||||||||||||||||||||||||
主要特點(diǎn) | 設(shè)備構(gòu)造:設(shè)備分為落地式一體機(jī)。 外型尺寸:1132(長)×642(寬)×1200(高)mm。
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設(shè)備精度 | 設(shè)備綜合精度為±30″ (以供方提供的標(biāo)準(zhǔn)石英片10ī1面測量) | 設(shè)備綜合精度為±15″ (以供方提供的標(biāo)準(zhǔn)石英片10ī1面測量) | ||||||||||||||||||||||||
最小讀數(shù) | 10″ | |||||||||||||||||||||||||
儀器配置 | DX-7B和DX-7BG型X射線單晶定向儀由機(jī)臺(tái)、管套及各種機(jī)械附件組成的機(jī)械部分;由穩(wěn)壓器、控制器、高壓變壓器、放大器、計(jì)數(shù)器、風(fēng)冷電機(jī)、X射線管及各種指示儀表組成的電氣部分構(gòu)成。 | |||||||||||||||||||||||||
技術(shù)指標(biāo) | (1)X射線發(fā)生器部分: X射線管:銅靶,風(fēng)扇冷卻,陽極接地。 管電壓:30KVP,全壓合閘。 管電流:0—5mA 連續(xù)可調(diào),使用2.0mA以上,有可能損壞X光管并加大輻射危害。 (2)輸入電源:單相交流220V,50Hz,整機(jī)總耗電功率不大于0.3 KW 。 (3)角度測量范圍: 2θ角:-10~+110° θ角:-5~+55°。 | |||||||||||||||||||||||||
衍射方式 | 單衍射 | 雙衍射 | ||||||||||||||||||||||||
放大系統(tǒng) | 傳統(tǒng)放大器 | 新型放大器 | ||||||||||||||||||||||||
接收系統(tǒng) | 計(jì)數(shù)管計(jì)數(shù)率為104/秒 | 計(jì)數(shù)管計(jì)數(shù)率為108/秒 (是普通系列的1萬倍) | ||||||||||||||||||||||||
接收器壽命 | 1年 | 3年以上 | ||||||||||||||||||||||||
X光管壽命 | 按照國家標(biāo)準(zhǔn)400小時(shí) (X光管可以使用3-4個(gè)月) | 是正常使用狀況下的2-3倍 (X光管至少可以使用一年) | ||||||||||||||||||||||||
X管電流強(qiáng)度 | 1-1.5mA | 0.5-1.0mA | ||||||||||||||||||||||||
測量和使用效果 | X光管使用2-3個(gè)月有可能出現(xiàn)多個(gè)假峰,影響準(zhǔn)確度。需要經(jīng)常更換X光管,影響生產(chǎn)效率。 | 可以濾掉X光管的雜峰,不存在假峰現(xiàn)象。X光管可以使用1年左右,不需要頻繁調(diào)整機(jī)器。 | ||||||||||||||||||||||||
精度 | 精度±30秒(或±0.008度) | 精度±15秒(或±0.004度) | ||||||||||||||||||||||||
輻射 | 測量時(shí)使用 mA量越來越大,射線輻射量較大。 | 測量時(shí)使用 mA量小,射線輻射量較小。 |