產(chǎn)品簡介:SE-VE 是一款、快速測量光譜橢偏儀,緊湊集成設(shè)計,使用簡便,可一鍵快速測量表征各式光學(xué)薄膜膜厚以及光學(xué)常數(shù)等信息。高性價比光學(xué)橢偏測量解決方案,緊湊集成化設(shè)計,用戶操作體驗,一鍵快速測量分析,人機交互設(shè)計,使用便捷,豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結(jié)構(gòu)模型庫,保證強大數(shù)據(jù)分析能力,廣泛應(yīng)用于科研/企業(yè)中各種單層到多層薄膜膜厚以及光學(xué)常數(shù)等快速表征分析。
產(chǎn)品型號 | SE-VE光譜橢偏儀 | ||
主要特點 | 1、采用高性能進口復(fù)合光源,光譜覆蓋可見到近紅外范圍 (400-800nm) 2、高精度旋轉(zhuǎn)補償器調(diào)制、PCRSA配置,實現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集 3、數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫、多種算法模型庫,涵蓋了目前絕大部分的光電材料 | ||
技術(shù)參數(shù) | 1、自動化程度:固定角 2、應(yīng)用定位:經(jīng)濟型 3、基本功能:Psi/Delta、N/C/S、R等光譜 4、分析光譜:400-800nm 5、單次測量時間:0.5-5s 6、重復(fù)性測量精度:0.05nm 7、光斑大小:大光斑1-3mm 8、入射角調(diào)節(jié)方式:固定角 9、入射角范圍:65° 10、找焦方式:手動找焦 11、Mapping行程:不支持 12、支持樣件尺寸:至160mm | ||
可選配件 | 1 | 溫控臺 |
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2 | 真空泵 |
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3 | 透射吸附組件 |
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