DH500ZZS箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)適用于制備導(dǎo)電薄膜，半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、光學(xué)薄膜，高性能薄膜研究及新材料科學(xué)研究工作。其主要特點(diǎn)為功能強(qiáng)、鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定、重復(fù)性好、操作簡(jiǎn)便。
主要技術(shù)參數(shù)
1、鍍膜室體積：500×500×600mm3，特殊規(guī)格可定做；
2、極限真空度：6.7×10-5 Pa，恢復(fù)真空：從大氣抽至6.7×10-4 Pa ≤（40分鐘）；
3、真空抽氣系統(tǒng)：機(jī)械泵與復(fù)合分子泵組成；真空測(cè)量系統(tǒng)：復(fù)合數(shù)顯真空計(jì)；
4、蒸發(fā)源：電子束蒸發(fā)源：270°E型電子槍及高壓電源，電子槍功率0～6KW可調(diào)；
電阻蒸發(fā)源：銅水冷電極4根，功率：3kW/10V兩組；
5、結(jié)構(gòu)形式：立式前開(kāi)門后置抽氣系統(tǒng)；
6、工件烘烤溫度：室溫～800℃可控可調(diào)（PID控溫）；
7、旋轉(zhuǎn)夾具：公轉(zhuǎn)或行星公自轉(zhuǎn)夾具。速度從 0r～30r/min 無(wú)級(jí)可調(diào)；
8、選配件：光學(xué)膜厚測(cè)量系統(tǒng)、石英晶振測(cè)厚儀、高壓離子轟擊、霍爾離子源、冷卻水機(jī)組等；
9、供電電源：三相AC380V，50Hz；整機(jī)功率22KW。
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