系統(tǒng)參數(shù):
◆原理 非接觸、三維白光掃描干涉儀
◆掃描裝置: 長范圍 Z 軸調(diào)節(jié)
◆物鏡: 無限共軛干涉物鏡:標(biāo)準(zhǔn)工作距離2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x;長工作距離:1x, 2x, 5x, 10x,詳見物鏡參數(shù)表
◆視場: 跟所選物鏡有關(guān)
◆光源: 長壽命白光 LED,計算機(jī)控制光強(qiáng)
◆物鏡座: 螺紋物鏡座(標(biāo)準(zhǔn));
◆選件: 可快速裝卸單物鏡夾具(可選);電控或手動 4 位物鏡塔臺(可選)。
◆輔助聚焦: 軟件控制輔助聚焦
◆測量陣列: 1024×1024
◆樣件觀察: 軟件集成交互式實(shí)時觀察
◆Z 軸: 100mm 行程,主機(jī)頭具有兩種可選安裝高度,以優(yōu)化工作距離
◆樣品臺控制: USB 控制器,人體工程學(xué)設(shè)計的拇指控制按鈕,可控制速度和聚焦模式切換
◆安全性: 系統(tǒng)集成緊急制動功能
◆樣品臺: 手動,俯仰傾斜±4°; 手動XY平移50x100mm; 集成T型槽板利于固定附件
◆計算機(jī): 高性能DELL計算機(jī), 寬屏1080P LCD,64位,Windows 7系統(tǒng)
◆軟件: ZeMapsTM
◆尺寸(HWD): 系統(tǒng):156×127×76cm; 工作桌:74x127x76cm; ZeGage 主機(jī):82x53x53cm
◆重量: ZeGage 主機(jī):54Kg; 工作臺:37Kg
性能:
◆縱向掃描范圍:≤ 20 mm,(受限于物鏡工作距離)
◆表面形貌重復(fù)性:<3nm(根據(jù) ISO/DIS 25178 604 部,附件 D)
◆光學(xué)分辨率(橫向):0.52um ~9.50um,與所選物鏡有關(guān)
◆掃描速度: ≤ 23 um/秒
◆數(shù)據(jù)點(diǎn): 1,048,576
◆臺階測量: 準(zhǔn)確度 ≤ 1%; 重復(fù)性≤ 0.1% @ 1σ
被測樣品特性:
◆材料: 各種材料的表面:透明,不透明,鍍膜,非鍍膜,反射,弱反射
◆反射率:1-99%
環(huán)境要求:
◆溫度: 15-30℃
◆溫度變化率: <1.0°C/15分鐘
◆濕度: 相對濕度 5%-95%,無凝結(jié)
◆隔振: 不需要
◆振動準(zhǔn)則: VC-C 或有更好的推薦