用途:
GPJ-800 高倍大平臺硅片檢測顯微鏡適用于對不透明物體的進行顯微觀察。本儀器配置大移動范圍的機械式載物臺、落射照明器,同時還配有內(nèi)置偏光觀察裝置,具有圖像清晰、襯度好,造型美觀,操作方便等特點,是單/多晶硅片、太陽能板、半導(dǎo)體封裝測試、集成電路、電子芯片、電路板、液晶板、鍍涂層,及其它非金屬材料等。也是金屬學(xué)、礦物學(xué)、精密工程學(xué)、電子學(xué)等研究的理想儀器。適用于學(xué)校、科研、工廠等部門使用。
成像系統(tǒng)組成簡介:
GPJ-800P電腦高倍大平臺硅片檢測顯微鏡 GPJ-800S數(shù)碼高倍大平臺硅片檢測顯微鏡成像系統(tǒng)是通過光電轉(zhuǎn)換與計算機,數(shù)碼相機以及電視機等設(shè)備結(jié)合在一起,不僅可以在目鏡上觀察,還能在顯示屏幕上觀察實時動態(tài)圖像,還可在計算機,數(shù)碼相機上將所需要的圖片進行編輯、保存和打印。
性能特點:
l 配置大視野目鏡和長距平場消色差物鏡,視場大而清晰。
l 配置大移動范圍的載物臺,能快速和慢速移動。
l 粗微動同軸調(diào)焦機構(gòu),粗動松緊可調(diào),帶限位鎖緊裝置。
l 6V 20W鹵素?zé)?亮度可調(diào)。
l 三目鏡筒,可自由切換正常觀察,可進行99%透光攝影
技術(shù)參數(shù):
平場目鏡 | 放大倍數(shù)(X) | 視場(mm) | ||
10X | Φ18 | |||
平場消色差物鏡 | 放大倍數(shù)(X) | 數(shù)值孔徑(NA) | 工作距離(mm) | |
5X | 0.12 | 18.3 | ||
10X | 0.25 | 8.9 | ||
20X | 0.40 | 8.7 | ||
40X | 0.60 | 3.7 | ||
80X | 0.80 | 0.96 | ||
光學(xué)放大倍數(shù) | 50X 100X 200X 400X 800X | |||
系統(tǒng)參考放大倍數(shù) | 50X-3000X | |||
目鏡筒 | 三目鏡, 瞳距調(diào)節(jié)范圍:53-75mm | |||
照明系統(tǒng) | 落射照明器,6V/20W鹵素?zé)簦?20V(50Hz)亮度可調(diào)具 | |||
偏光裝置 | 三目頭內(nèi)置檢偏振, 可插入式起偏振片,垂直照明裝置, | |||
調(diào)焦機構(gòu) | 粗微動同軸調(diào)焦,粗動松緊可調(diào),帶鎖緊和限位裝置 微動格值:0.002mm。 | |||
轉(zhuǎn)換器 | 五孔 外向式滾珠內(nèi)定位 | |||
濾色片組 | 黃色、藍色、綠色、磨砂玻璃 | |||
載物臺移動范圍 | X方向:154mm ; Y方向154mm |
l 目鏡:16X 20X 10X分劃
l 物鏡:50X 60X 80X 100X(油)
l 大載物臺(配快速移動):尺寸:274*274mm 移動范圍:203*203mm
l 動態(tài)檢測軟件GM-2000V
l 二維圖像測量軟件GM—2000M